PSG55x 大气压至中真空真空计
INFICON 皮拉尼标准真空计 (PSG55x) 与其兄弟产品 PCG55x 和 PSG50x 相似，采用的数字皮拉尼技术。坚固的传感器设计结合紧凑的外形和众多功能，使其成为从低真空度到高真空度范围测量的正确产品。
应用
高真空压力测量
蒸发与溅射镀膜系统
全真空范围内的一般真空测量和控制
压力测量范围宽，从大气压至10E-4Torr
单校准规管保证的测量性能
结构紧凑、坚固耐用，抗和噪音符合CE认证
数字接口可用于与计算机控制系统通讯
ATC热电偶真空计
Edwards ATC系列热电偶 (ATC-E) 真空计可直接安装在 ATC-D 或 ATC-M 热电偶管上，形成紧凑、立的传感器。
ATC-E 电子模块既能驱动中压压力计管件，也能驱动低压压力计管件。这些真空计为更高的压力提供了经济的测量解决方案
特点
真空压力测量至10E-9Torr
双灯丝增加设备的正常运行时间
超洁净结构在抽气过程中实现快速响应
坚固耐用的金属结构，抗射频和噪音符合CE标准
可选本地显示器有助于设置和诊断
数字接口可用于计算机控制系统
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
