价格：8800起
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简介
混合气体配比气体混配器流量流量配比主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境.
该 混合气体配比气体混配器流量流量配比可以外接3种气体,采用质子型流量计,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.
用途
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
技术参数
产品型号
KT-C3Z
产品类型
智能控制 触摸屏控制
流量量程
2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,
1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
流量控制方式
触摸屏设定流量
时间设定
0-99999
数据导出
有
程序控制
无 （可根据要求写程序)
压力显示
无 (可根据需求添加)
耐压
3MPa
密封材料
金属密封 Metal
输入输出信号
(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,
电源
±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
阀类型
常开或常闭
温度系数
Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃
零点飘移指标
＜0.6%F.S. per year without autozero
电气连接
Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作压差范围
(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）
漏率
1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式
双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型
表面化学成分
CrO thickness ＞20 Angstroms
表面粗糙度
20µinch
抗电磁干扰
CE
重量
16KG
