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高纯度氧气还用于通过脱水生产各种有机材料，如和丁二烯；异丁烷可以通过异构化生产；顺二酸酐和乙酸可以通过催化氧化制备；可生产卤化丁烷；硝基丁烷可以通过氮化生产；二硫化碳可以在高温下催化生成；氢气可以通过蒸汽转化产生。
高纯气体在各行各业和工业生产都有广泛的用途，它通常由空气分离工艺制取，气态高纯气体经管道或钢瓶集装格输送给用户，液态产品用槽车运输给用户。在用管道输送高纯气体的流程中，贸易交接计量通常为气体流量计，流量计的公称通径从50mm到几百毫米。多数交接量大、结算金额高的交接点，往往是供需双方各装一套流量计，从而做到公平计量，万无一失。
高纯氮气的用途
（1）高纯氮气主要用途：化肥、氨、硝酸等化合物的制造，惰性保护介质，速冻食品、低温粉碎等的制冷剂、冷却剂，电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等，还用作标准气、校正气、零点气、平衡气等。
（2）高纯氮气应用于轮胎中，其渗漏轮胎胎壁的速度比空气慢约30-40%，能保持稳定胎压，提高轮胎行驶的稳定性，保证驾驶的稳定性，保证驾驶的舒适性，氮气的音频传导性低，相当于普通空气的1/5，使用氮气能有效减少轮胎的噪音，提高行驶的宁静度。
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