多导毛细电镀层测厚仪晶圆
价格：900000.00起
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关 键 词：多导毛细电镀层测厚仪晶圆
行 业：仪器仪表 机械量测量仪表 测厚仪
发布时间：2023-07-23
多导毛细管聚焦X射线荧光镀层测厚仪产品详细资料介绍，多导毛细管聚焦X射线荧光镀层测厚仪产品报价和详细配置请咨询苏州实谱仪器有限公司提供毛细管镀层测厚仪产品原理和应用测试方案。x射线荧光光谱XRF在晶圆测试中被广泛应用
适配性强：适用于各类样品尺寸的产品线，如600*600mm大型印刷电路板
操作体验佳：高精细样品观察图像，微区小至纳米级别的分辨率，实现更快速便捷的测试
自动、智能：搭载可编程全自动位移平台，无人值守、自动检测样品同时搭载影像识别功能，自动判定测试位置
X射线荧光是原子内产生变化所致的现象。-个稳定的原子结构由原子核及核外电子组成。其核外电子都以各自特有的能量在各自的固定轨道上运行，内层电子(如K层)在足够能量的X射线照射下脱离原子的束缚,释放出来,电子的逐放会导致该电子壳层出现相应的电子空位。这时处于高能量电子壳层的电子(如:L层)会跃迁到该低能量电子壳层来填补相应的电子空位。由于不同电子壳层之间存在着能量差距,这些能量上的差以二次X射线的形式释放出来,不同的元素所释放出来的二次X射线具有特定的能量特性。这一个过程就是我们所说的X射线荧光(XRF)。元素的原子受到高能激发而引起内层电子的跃迁，同时发射出具有-定特殊性波长的X射线,根据莫斯莱定律,荧光X射线的波长λ与元素的原子序数Z有关,其数学关系如下:
λ=K(Z- S)-2
测量精度更高：新开发的特的光学器件和多导毛细管技术可对超微小区域及纳米级薄层高精度测量
超微小样品检测：测试小测量点直径可达10µm
测量效率高：高灵敏度、高解析度X荧光检测系统搭配多导毛细管技术，测量时间更短，能够实现普通机型几倍的检测量
X射线激发由上往下，采用Mo靶，铜管体的光管，
大窗口的SDD硅漂移探测器
XY轴程控控制，程控移动
焦距可变
高倍放大的高清CCD
开槽式样品台
多级密码设置可给予不同的管理权限
毛细管镀层分析产品特点：
1、多导毛细光学系统和高性能SDD探测器：区别金属准直，多导毛细管可将光束缩小至10 μm，同时得到数千倍的强度增益。可测量超微小样品的同时大程度保证了测试的准确性及稳定性。
2、微米级超小区域：在Elite-X光学系统设计下大大降低检出限，纳米级超薄镀层均可准确、可靠测试
3、广角相机：样品整体形貌一览无余，且测试位置一键直达
4、搭配高分辨微区相机：千倍放大*对焦测试区域，搭配XY微米级移动平台，三维方向对焦聚焦测试点位，误差<±2 μm
5、多重保护系统：V型激光保护，360°探入保护，保护您的样品不受损害，保证仪器安全可靠的运作
6、全自动移动平台：可编程化的操作，针对同一类型样品，编程测试点位，同一类样品自动寻路直接测试
7、人性化的软件：搭配EFP核心算法软件，人机交互，智慧操作
8、可搭配全自动进送样系统
