毛细管x射线测厚仪原理芯片凸点
价格:900000.00起
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关 键 词:毛细管x射线测厚仪原理芯片凸点
行 业:仪器仪表 机械量测量仪表 测厚仪
发布时间:2023-07-22
多导毛细管聚焦X射线荧光镀层测厚仪产品详细资料介绍,多导毛细管聚焦X射线荧光镀层测厚仪产品报价和详细配置请咨询苏州实谱仪器有限公司提供毛细管镀层测厚仪产品原理和应用测试方案。x射线荧光光谱XRF在晶圆测试中被广泛应用
性能优势:
微区分析:定位平台和毛细管聚焦光学结构,聚焦直径可小至 5μm FWHM.
测试速度:强度高于金属准直1000倍以上的毛细管光路系统搭配核心算法,分析效率翻倍,将大幅度缩减分析时间。
自动智能:仪器响应式自动开合,AI影像智能寻点一次编程即可实现成百上千个样品点的检测,实现在线检测。
在高集成光路系统的基础上,搭配多导毛细管 实现小面积或薄镀层的高速、、稳定的测量,聚焦直径可小至10μm,可产生比准直器机构强千倍的信号强度多导毛细管将激发光束高强度的集中在一个的小光斑上,从而显著缩短测量时间, 在测量纳米级Au厚度或薄膜层厚度及成分时,满足微小光斑、短测量时间的同时,测量效果接近
X射线激发由上往下,采用Mo靶,铜管体的光管,
大窗口的SDD硅漂移探测器
XY轴程控控制,程控移动
焦距可变
高倍放大的高清CCD
开槽式样品台
多级密码设置可给予不同的管理权限
多导毛细管技术,轻松应对超小测量点薄涂层和薄涂层的测量分析,在柔性电路板、芯片封装环节、晶圆微区的镀层厚度和成分自动测试分析中尽显优势主要利用X射线全反射原理,从X射线管激发出来的X射线束在毛细玻璃管的内壁以全反射的方式进行传输,利用毛细玻璃管的弯曲来改变X射线的传输方向,从而实现X射线汇聚,同时将X射线的强度增加2~3个数量级
毛细管镀层分析产品特点:
1、多导毛细光学系统和高性能SDD探测器:区别金属准直,多导毛细管可将光束缩小至10 μm,同时得到数千倍的强度增益。可测量超微小样品的同时大程度保证了测试的准确性及稳定性。
2、微米级超小区域:在Elite-X光学系统设计下大大降低检出限,纳米级超薄镀层均可准确、可靠测试
3、广角相机:样品整体形貌一览无余,且测试位置一键直达
4、搭配高分辨微区相机:千倍放大*对焦测试区域,搭配XY微米级移动平台,三维方向对焦聚焦测试点位,误差<±2 μm
5、多重保护系统:V型激光保护,360°探入保护,保护您的样品不受损害,保证仪器安全可靠的运作
6、全自动移动平台:可编程化的操作,针对同一类型样品,编程测试点位,同一类样品自动寻路直接测试
7、人性化的软件:搭配EFP核心算法软件,人机交互,智慧操作
8、可搭配全自动进送样系统