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技术参数； 真空腔体 类型 高温室温到 400℃ 低温室温到-190℃ 非标定做 腔体材质 铝合金 腔体内尺寸 167mmX57mmX33mm 腔体重量 约 2.6KG 腔体上视窗尺寸 Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） 腔体抽气口 KF16 法兰（其余接口规格可转接） 腔体进气口 公制 3mm 6mm 气管接头 英制 1/8mm 1/4mm 气管接头可选 腔体冷却方式 腔体水冷+上盖气冷 腔体水冷接口 6mm 快拧 或 6mm 快插 腔体正压 ≤0.05MPa 腔体真空度 机械泵≤5Pa （5 分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30 分钟） 样品台 样品台材质 不锈钢+无氧铜夹具 样品台尺寸 26x26mm 无氧铜夹具根据样品定制 热台间隙 0-10mm 调节范围 样品台加热方式 电阻加热 液氮流速制冷 样品台-视窗 距离 15mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） 样品台测温传感器 PT100 型热电阻 样品台温度 室温到 400℃ 样品台测温误差 ±0.5℃ 样品台升温速率 高温 20℃/min 最大值 低温 10℃/min
