347 Stabil-Ion 靖江真空计
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BAG05x UHV Bayard Alpert 热电离被动真空计
INFICON Bayard-Alpert 被动真空计头 BAG050、BAG051、BAG052 和 BAG053 设计用于 INFICON 真空计控制器 VGC083A 和 VGC083B。氧化钇涂层铱丝适用于空气和惰性气体中的一般真空应用，例如在 N2 和氩气中。如果气体与氧化钇涂层铱丝不兼容，则为其选择钨丝。BAG05x 真空计还可使用其他制造商生产的兼容真空计控制器操作。INFICON 被动 Bayard-Alpert 电离真空计 (BAG05x) 可采用三种不同的配置：
Edwards WRH仪表采用两种测量方法(Bayard-Alpert和Pirani)在一个紧凑的模块内，满足你所有需要测量和控制的真空系统。模拟和RS485输出可通过D-SUB连接器，2个继电器和易于校准，使控制和测量非常简单。采用所包含的软件，您可以很容易地跟踪和记录真空系统的性能，并对仪表的数据进行调整，如设置设定值或更改输出比例。WRH是许多真空系统的选择，从研发机构到质谱领域，且广泛用于一般工业。
Granville-Phillips Convectron真空计拥有30多年成功的现场安装经验，已成为低真空测量的行业标准。与传统的热偶规和Pirani真空计不同，Convectron真空计利用高压力时对流冷却的热损失效应·将其测量范围延伸至大气压。现今，在原有结构中增加压阻隔膜规配置强化了该模块在大气压端的性能。该传感器在大气端可提供高度可靠．精准及重复性号的差压指示从而提高了工艺效率和产能。
VD83 100 到5x10-4mbar 皮拉尼
VD84 100 到1x10-3mbar 外置皮拉尼
应用实例
液态气罐的真空绝缘保护了液态气免受环境热的影响。真空封装有效地隔绝了气罐和它的外部环境间的热传导。
挑战
为了确保绝缘功能的正常以及当气罐或其外壳发生泄漏时及时被侦测到，需要定期检测绝缘的真空状态。真空绝缘失败将会带来气体升温的风险，并导致危险的压力上升。
解决方案
用带可拆卸传感器探头的VD84真空计可以方便而快速地检测气罐中的绝缘真空。每个气罐配备一个单的传感器，它固定在绝缘封装中。真空计可以定期地与传感器连接，以检测内部的真空状态。
应用领域
服务和维护
低真空泵检测
真空干燥
真空离心机
冷却和冷冻技术
应用
研究设施
分析设备
研究和生产涂料设施
泄漏检测系统
半导体开发和生产
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要高于2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程皮拉尼的之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到超高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉
