385 Convectron ATM 南昌探头
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BAG05x UHV Bayard Alpert 热电离被动真空计
INFICON Bayard-Alpert 被动真空计头 BAG050、BAG051、BAG052 和 BAG053 设计用于 INFICON 真空计控制器 VGC083A 和 VGC083B。氧化钇涂层铱丝适用于空气和惰性气体中的一般真空应用，例如在 N2 和氩气中。如果气体与氧化钇涂层铱丝不兼容，则为其选择钨丝。BAG05x 真空计还可使用其他制造商生产的兼容真空计控制器操作。INFICON 被动 Bayard-Alpert 电离真空计 (BAG05x) 可采用三种不同的配置：
应用
高真空测量
真空系统
工业镀膜设备
一般真空测量应用
VGC501 系列真空计控制器可与各种 INFICON 真空计一起使用，能够监测 10⁻¹⁰ 至1500 mbar（10⁻¹⁰ 至 1125 Torr）的完整真空压力范围和设定点状态并记录相关数据。
Convectron ATM模块有模拟量、RS485或DeviceNet的输出形式可选。
Edwards APGX-H线性对流真空计具有从 1333 到 3 x 10-4 mbar（1000 到 2.3 x 10-4 Torr）的很宽的测量范围。对流技术的使用可确保了粗真空段内的准确性和灵敏度。
真空计结构紧凑，可以在任意方位安装，因此适合空间有限的情况。该真空计集成了设定点和两个 LED，LED 可指示设定点和真空计的状态。
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境，这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续真空状态，并使之持续维持在一个低位，以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体处的压力以及真空口处的压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体处和真空口处的压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接，以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来，以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行。另外，也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上，实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和超高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
