


价格:1000.00起
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| 产品名称 | GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪 | |
| 产品型号 | GSL-1100X-SPC-16C | |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀) 4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 5、通风装置:不需要 | |
| 主要参数 | 1、靶:Ø50mm 2、样品台:Ø50mm 3、真空室:Ø160mm×110mm 4、真空度:4×10-1mbar-2×10-2mbar 5、极限电流:50mA 6、可设定极限时间:9999s 7、极限电压:1600V DC可调 8、真空泵:4L两级机械旋转泵,极限真空2×10-2mbar(也可选配国产分子泵) | |
| 产品规格 | 尺寸:L400mm x W310mm x H390mm | |