科晶VTF-1200X-III-TSSG 三温区顶部籽晶助溶剂法单晶生长炉

● 3温区加热： 150mm+300mm+150mm，三个温区由独立的温控系统控制，可创造出较大的温度梯度
● 工作温度： 1200℃（小于1小时）
● 连续工作温度:  1100ºC
● 功率:  208V- 240V AC, 50/60Hz, 单相
● 功率： 5KW

● PLC触摸屏控制面板，可设置和控制提拉行程，提拉速度和旋转速度等
● 温控系统：可设置28段温度段，采用PID方式调节温度，其控温精度为±0.1℃
● 升温速率： 0~10ºC / min
● 提拉速度: 0.8-50mm/h （可调）
● 下降速度: 40 mm/minute
● 籽晶杆转速: 0.1-23 RPM（可调）

300mm

● 腔体直径为Φ135mm(设计为开启式），可直径为Φ80mm的坩埚
● 加热区长度600mm
● 可选购真空密封件：直径为Φ127mm的石英管和密封法兰
 

● 水冷提拉杆直径：28mm
● 可定制的提拉速度范围：0.03-12mm/h（客户根据实际需求进行定制，具体情况可与本公司销售联系）
● 提拉行程：400mm
● 手动操作实现快速升降
● 选配：旋转速度：0.03-50r/min（根据要求定制旋转机制以及旋转速度范围）

CE认证