


价格:1000.00起
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性能指标和基本配置
| 型号 | OTF-1100X-15-III |
| 炉体结构 | ● 双层壳体结构,并带有风冷系统,壳体表面温度<70°C. ● 采用氧化铝纤维作为炉膛材料 ● 加热元件:SiC棒 ● 设备中配有2个氧化铝管堵,以保证炉膛内部温度均匀性(炉体加热前,管堵必须塞入到炉管内部) ● 此管式炉可作为退火或扩散管式炉(6英寸或8英寸晶片可用特殊石英支架装载) ● 电动开启式设计,使得用户操作更加简便 ● 结构图氧化铝管堵晶片装载电动开启 |
| 加热区 | ● 总加热区长度1000mm ● 三个加热区: 330 mm + 330 mm + 330mm (12" per zone) |
| 工作温度 | ● 工作温度1100℃ ● 加热速率:10℃/min ● 加热元件:SiC棒(36根) |
| 温控系统 | 控温精度为+/-0.5℃ |
| 炉管 | ● 15英寸高纯石英炉管:尺寸:400mm OD. x 388mm ID. x 1860mm L ● 注意:石英炉管易碎,操作需谨慎 |
| 真空密封&法兰 | ● 一对不锈钢真空密封法兰(铰链式),4个硅胶密封圈,可使炉管内真空度达到10^-3torr(采用机械泵抽真空) ● 左端法兰:安装有不锈钢针阀,Φ6.35的进气口 ● 右端法兰:KF40真空泵接口Φ6.35铠装接口(用于热偶插入到炉管内,测量炉管内温度和进行温度校准) |
| 可选 | ● 此管式炉需定期校准,以保证温度的准确性和均匀性,我们可提供简单的校准工具: 1根1200mm的K型铠装热偶 1个Omega温度校准仪表 此型号管式炉只可选用机械泵,且真空度只能够抽到-0.05MPa,否则可能造成炉管损伤 4&#39;&#39; ~ 8&#39;&#39; 晶片石英支架 ● 可与手套箱系统联用,实现氧敏感性材料的烧结制备 |
| 电压 | 三相380V,50/60 Hz |
| 额定功率 | 20KW |
| 产品尺寸 | 2300L x 1500W x 1400 H mm |
| 净重 | 300kg |
| 质保期 | 一年质保期,终身维护(不包含炉管,加热元件和密封圈) |
| 质量认证 | ● CE认证 ● 所有电器元件(输入电源大于24V)都通过了UL/MET/CSA |
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