科晶SKJ-50CZ 晶体生长炉 实验型晶体生长炉SKJ-50CZ

● 感应射频功率为25KW，射频0.2 - 20 KHz
● 提拉速度 :0.1- 20 mm/h，仔晶杆旋转速度0 ~~ 40 RPM
● 提拉行程：50CM
● 可熔融温度为：2100℃
● 输入电源：三相，380V，25KW
● 真空腔体尺寸为 ：50 cm dia. X 70 cm h，其真空度可以达到10-3 torr（用机械泵）10-5 to（用扩散泵）
冷却水需求：
● 所需水压 0.13~~0.18MPa
● 所需水流量60 L/minute
● 冷却水会同多炉腔体夹层和仔晶杆

● 炉体: L880x W1250x H2640mm
● 控制柜:L680x W540x H1700mm
● 中频柜: L965xW 812xH 1219mm
● 产品净重  1.5 T

   
      培料的熔融                   种仔晶                        提拉                    熔融