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低成本金属密封型质量流量控制器/计 型号5400系列 型号5400系列质量流量控制器/计无焊接结构，金属密封，精确度≤ ±1%，响应≤±1/秒，基本的性能适用于半导体过程控制，而且价格合理。型号5410系列同样主体的设计价格也十分合理。 特点 通过安装一个温度流量传感器得到高精确的快速回应 通用的常闭型阀门 无焊接构造，金属密封确保低的泄露 由于膈膜角座阀较少了死区 间距，主体尺寸和连接的设计可以和生产商的控制器兼容 技术指标 F.S.流量 (N2换算) 10SCCM-20SLM 阀门方式 常闭电磁隔膜阀 控制范围 2%-100%F.S. 响应 ±2% 在1秒以内 QS option proviodes 1 sec.or less for 0-100% to 0-20%responses
