供应日本kofloc3200质量控制器
价格:面议
产品规格:3200
产品数量:10000 个
包装说明:纸箱
关 键 词:流量控制阀
行 业:泵阀 阀 控制阀
发布时间:2009-11-11
型号3200系列装置是一种高质量的流量控制器 ,已运用于半导体、LCD、燃烧、分析和生物技术各种领域,被指定为3910系列的成功者。它适用于新科夫勒克标准的高性能操作型号。
特点:
通过安装一个温度流量传感器得到高精确的快速回应。
使用一个正常关闭的阀门,并在正确方向上操作。
通过CF转换功能产生多种气体。
使用一个隔膜底座阀门减少死体积。
反映F.S.1SCCM一分钟的流量(SR option)。
反应给燃烧控制气体产生低差压力(LP option)。
技术标准:
流量:F.S.10-500 SCCM,1-5SLM
(在N2转换的基础上)
阀门方式:正常关闭,螺线管,膨胀饼座阀
控制范围:2-100%F.S.
反应时间:0-100%回应,实际流量+2%以内是1秒
精度:在+1.0%F.S.之内
线性:在+0.5%F.S.
重复性:在+0.2%F.S.之内
压力范围:F.S.≤5SLM 49-294kPa
LP(低压)标准不同与气体和流量率
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