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型号3100系列质量流量计是一款以型号3200为基础，新推出的高精确性流量计。新颖的细长型流量控制器减少了压力的损失，保证了快速的响应性和稳定性。 特点 通过安装一个温度流量传感器得到高精确的快速回应。 通过CF转换功能能和多种气体兼容 测量一分钟流量可达1SCCM满量程 技术指标 流量范围 N2换算 3100：10SCCM-20SLM；3105：30SCCM-100SLM 响应 ±2% 在1秒以内 精度 3100：±1.0%F.S.以内；3105：±1.5%F.S.以内 线性 ±0.5%F.S.以内 再现性 ±0.2%F.S.以内 耐压 980kPa 操作差压 F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa 5＜F.S.≤20SLM 147kPa-294kPa 泄漏范围 1×10-8Pa•m3/s以内（He除外） 使用温度 0℃-50℃（精度保证：15-35℃） 连接气体部分材料 外壳：SUS316L、SUS316、PTFE 封条：Viton(选项：氯丁橡胶） 接头 标准：1/4SWL 选购项：1/8SWL、1/4VCE、Rc1/4 电力连接 Dusb 9-pin male connector per KFC standard 输出信号 0-5VDC 需求电源供给 +15VDC(±5%)100mA,-15VDC(±5%)200mA
