价格：1000起
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标准量程（N2） 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM 1,2,3,5,10 SLM 准确度 ± 1.5% F.S. 线性 ± 0.5~1.5% F.S. 重复精度 ± 0.2% F.S. (典型值Typical) 响应时间 气特性 1 ~ 4 sec 电特性 10 sec 工作压差范围 0.1~0.5 MPa 最大压力 3 MPa 漏率 < 1×10-8SCCS He 输入/输出信号 0 ~ +5.00V 温度范围 5 ~ 45ºC 电源 +15V 50mA, -15V 200mA 电连接器 D15 pin (孔式female ) 接头和尺寸 Φ 6mm,1/4" Swagelok : 158×30×110mm 重量 1.1 Kg
