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关 键 词：平面伺服马达LMSP
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发布时间：2009-03-23
平面伺服馬達LMSP整合位置感測元件可作閉迴路位置控制。 特性： X-Y平台 整合位置感測元件可作閉迴路位置控制 採用空氣軸承故無磨耗 磁場不外漏，不影響周圍設備 無溫升問題 可倒吊安裝 定子面積最大可達1000 x 1000 mm
