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设备概述: 硅片甩干机是由该系列机型具有高洁净度旋转冲洗甩干功能。主要用于硅圆片、掩模版、太阳能电池等类似材料的冲洗甩干。 1·甩干机机型 双工作腔结构，最大加工片子直径φ150mm。S为双片盒结构. 2·系统构成 整机采用双工位（或单工位）层叠、积本式组合结构，每个工位可独立运行互不干扰。能实现包括旋转冲洗、氮气烘干、电阻率监控、防静电控制、腔体干燥、故障显示报警、系统洁净化处理在内的全自动工艺处理过程。 3·结构原理与特点 （1）洁净化处理技术 ⑵ 大功率无刷电机驱动 ⑶ 清洗工作腔体 ⑷ 转轴氮气密封技术 ⑸ 去离子水控制 ⑹ 防静电控制 ⑺ 防震、隔震技术 ⑻ 测速、计数控制技术 ⑼ 制动控制技术 ⑽ 系统控制技术 ⑾ 工艺处理软件 ⑿ 颗粒控制性能 ⒀ 安全及防护处理 ⒁ 门位置状态监控与互锁 ⒂ 生产技术
