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PECVD（等离子体增强化学的气相沉积）设备主要用于在洁净真空环境下进行氮化硅和氧化硅的薄膜生长；采用单频或双频等离子增强型化学气相沉积技术，是沉积高质量的氮化硅、氧化硅等薄膜的理想工艺设备。 双频技术，采用13.56MHZ射频电源和400KHZ中频电源。 射频电源用于控制等离子体的通量；中频电源用于控制等离子体的能量。 设备用途和功能特点 1、该设备是高真空单频或双频等离子增强化学气相沉积PECVD薄膜设备，主要用于制备氮化硅和氧化硅薄膜。 2设备保护功能强，具备真空系统检测与保护、水压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护。 3.配置尾气处理装置。 PECVD设备类型：单室PECVD设备、五室PECVD设备、六室太阳能薄膜电池设备、PECVD+磁控溅射 设备安全性设计 1、电力系统的检测与保护 2、设置真空检测与报警保护功能 3、温度检测与报警保护 4、冷却循环水系统的压力检测和流量检测与报警保护 设备技术指标 类型 参数 样片尺寸 ≤φ8英寸(或多片2英寸) 样片加热台加热温度 室温~600℃±0.1℃ 真空室极限真空 ≤7×10-5Pa 工作背景真空 ≤8×10-4Pa 设备总体漏放率 停泵12小时后，真空度≤10Pa 样品、电极间距 5mm~50mm在线可调 工作控制压强 10Pa~1500Pa 气体控制回路 根据工艺要求配置 单频电源的频率 13.56MHz 双频电源的频率 13.56MHz/400KHz 工作条件 类型 参数 供电 三相五线制 AC 380V 工作环境温度 10℃~40℃ 气体阀门供气压力 0.5MPa~0.7MPa 质量流量控制器输入压力 0.05MPa~0.2MPa 冷却水循环量 0.6m3/h 水温18°C~25℃ 设备总功率 7kW 设备占地面积 2.0m~2.0m 关于我们 鹏城半导体技术（深圳）有限公司，由哈尔滨工业大学（深圳）与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于技术前沿、市场前沿和产业前沿的交叉点，寻求创新yin*ling与可持续发展，解决产业的痛点和国产化难题，争取产业链的自主可控。 鹏城微纳技术（沈阳）有限公司是鹏城半导体技术（深圳）有限公司全资子公司，是半导体和泛半导体工艺和装备的设计中心和生产制造基地。 公司核心业务是微纳技术与gao*duan精密制造，具体应用领域包括半导体和泛半导体材料、工艺、装备的研发设计、生产制造、工艺技术服务及装备的升级改造，可为用户提供工艺研发和打样，可为生产企业提供生产型设备，可为科学研究提供科研设备。 公司人才团队知识结构完整，有工程师哈工大教授和博士，为核心的高水平材料研究和工艺研究团队，还有来自工业界的高级装备设计师团队，他们具有30多年的半导体材料研究、外延技术研究和半导体薄膜制备成套装备设计、生产制造的经验。 公司依托于哈尔滨工业大学（深圳），具备先进的半导体研发设备平台和检测设备平台，可以在高起点开展科研工作。公司总部位于深圳市，具备半导体和泛半导体装备的研发、生产、调试以及器件的中试、生产、销售的能力。 公司团队技术储备及创新能力 1998~2002 -设计了中试型的全自动化监控的MOCVD，用于外延硅基GaN -设计制造了聚氨酯薄膜的卷绕式镀膜机 2005 -设计制造了中国di*yi台完全自主知识产权的MBE(分子束外延设备)，用于外延光电半导体材料 2007 -设计超高温CVD 和MBE，用于4H晶型SiC外延生长 -设计制造了光学级金刚石生长设备（采用热激发技术和CVD技术） 2015 -设计制造了金刚石涂层制备设备，制备了金刚石电极、微米晶和纳米晶金刚石薄膜、导电金刚石薄膜 2017 -优化Rheed设计，开始生产型MBE设计 -开始研发PSD方法外延GaN的工艺和装备 2019 -设计制造了大型热丝CVD金刚石薄膜的生产设备 2021 -鹏城半导体技术（深圳）有限公司成立 2022 -子公司鹏城微纳成立； -热丝CVD设备、高真空磁控溅射仪、电子束蒸镀机、分子束外延与磁控溅射联用设备多套出货 -获得ISO9001质量管理体系证书 2023 -PSD方法外延GaN装备与工艺的技术攻关； -科技型中小企业-入库编号202344030500018573； -创新型中小企业； -获50+项知识产权专利； -企业信用评价AAA级信用企业；/ISO三体系认证； -子公司晶源半导体成立 2024~2026 -与jun*gong和he*gong*ye客户合作取得突破（he*fan*ying*dui*材料的涂层工艺及装备、X *guang*gan*板及光电器件的薄膜生长） -鹏城微纳技术（沈阳）有限公司子公司扩产 -TGV/TSV/TMV -wei*guang*tan*测、yi*liao*ying*xiang、fu*he*ying*zhi*tu*层 -gao*xin*ji*shu企业 one*three*sex*three*two*seven*five*0*0*one*seven
