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鹏城半导体技术（深圳）有限公司研发设计制造了HFCVD 热丝化学气相沉积设备，分为实验型设备和生产型设备两类。 设备主要用于微米晶和纳米晶金刚石薄膜的研发和生产。可用于力学级别、热学级别、光学级别、声学级别的金刚石产品的研发生产。 可以制造大尺寸金刚石多晶晶圆片，用于大功率器件、高频器件及大功率激光器的散热热沉。 可用于生产制造防腐耐磨硬质涂层；环保领域污水处理用的金刚石产品。 可用于平面工件的金刚石薄膜制备，也可用于刀具表面或其它不规则表面的金刚石硬质涂层制备。 可用于太阳能薄膜电池的研发与生产。 工件尺寸 圆形平面工件的尺寸：最大φ600mm。 矩形工件尺寸的宽度≤600mm。 矩形工件尺寸长度可根据镀膜室的长度确定（如：工件长度1200mm）。 配置水冷样品台。 可单面镀膜也可双面镀膜。 热丝电源功率 可达300KW，1KW～300KW可调（可根据用户工艺需求配置功率范围） 设备安全性设计 - 电力系统的检测与保护 - 设置真空检测与报警保护功能 - 冷却循环水系统压力检测和流量检测与报警保护 - 设置水压检测与报警保护装置 - 设置水流检测报警装置 设备构成 真空室结构 双层水冷结构，立式圆形、立式D形、立式矩形、卧式矩形，前后开门。 真空尺寸：根据工件尺寸和数量确定。 热丝 热丝材料：钽丝或钨丝。 热丝温度： 1800°C~2500°C可调。 热丝不塌腰（解决了热丝长时间加热塌腰的问题） 样品台 可水冷、可加偏压、可旋转、可升降，由调速电机控制，可实现自动升降，（热丝与衬底间距在5~100mm范围内可调），要求升降平稳，上下波动不大千0.1mm。 工作气路(CVD) 工作气路根据用户工艺要求配置 下面气体配置是某一用户的配置案例。 H2(5000sccm，浓度bai fen bai ) CH4(200sccm，浓度bai fen bai ) B2H6(50sccm，H2浓度99%) Ar(1000sccm，浓度bai fen bai ) 真空获得及测量系统 控制系统及软件 关于我们 鹏城半导体技术（深圳）有限公司，由哈尔滨工业大学（深圳）与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于技术前沿、市场前沿和产业前沿的交叉点，寻求创新yin*ling与可持续发展，解决产业的痛点和国产化难题，争取产业链的自主可控。 鹏城微纳技术（沈阳）有限公司是鹏城半导体技术（深圳）有限公司全资子公司，是半导体和泛半导体工艺和装备的设计中心和生产制造基地。 公司核心业务是微纳技术与gao*duan精密制造，具体应用领域包括半导体和泛半导体材料、工艺、装备的研发设计、生产制造、工艺技术服务及装备的升级改造，可为用户提供工艺研发和打样，可为生产企业提供生产型设备，可为科学研究提供科研设备。 公司人才团队知识结构完整，有工程师哈工大教授和博士，为核心的高水平材料研究和工艺研究团队，还有来自工业界的高级装备设计师团队，他们具有30多年的半导体材料研究、外延技术研究和半导体薄膜制备成套装备设计、生产制造的经验。 公司依托于哈尔滨工业大学（深圳），具备先进的半导体研发设备平台和检测设备平台，可以在高起点开展科研工作。公司总部位于深圳市，具备半导体和泛半导体装备的研发、生产、调试以及器件的中试、生产、销售的能力。 公司团队技术储备及创新能力 1998~2002 -设计了中试型的全自动化监控的MOCVD，用于外延硅基GaN -设计制造了聚氨酯薄膜的卷绕式镀膜机 2005 -设计制造了中国di*yi台完全自主知识产权的MBE(分子束外延设备)，用于外延光电半导体材料 2007 -设计超高温CVD 和MBE，用于4H晶型SiC外延生长 -设计制造了光学级金刚石生长设备（采用热激发技术和CVD技术） 2015 -设计制造了金刚石涂层制备设备，制备了金刚石电极、微米晶和纳米晶金刚石薄膜、导电金刚石薄膜 2017 -优化Rheed设计，开始生产型MBE设计 -开始研发PSD方法外延GaN的工艺和装备 2019 -设计制造了大型热丝CVD金刚石薄膜的生产设备 2021 -鹏城半导体技术（深圳）有限公司成立 2022 -子公司鹏城微纳成立； -热丝CVD设备、高真空磁控溅射仪、电子束蒸镀机、分子束外延与磁控溅射联用设备多套出货 -获得ISO9001质量管理体系证书 2023 -PSD方法外延GaN装备与工艺的技术攻关； -科技型中小企业-入库编号202344030500018573； -创新型中小企业； -获50+项知识产权专利； -企业信用评价AAA级信用企业；/ISO三体系认证； -子公司晶源半导体成立 2024~2026 -与jun*gong和he*gong*ye客户合作取得突破（he*fan*ying*dui*材料的涂层工艺及装备、X *guang*gan*板及光电器件的薄膜生长） -鹏城微纳技术（沈阳）有限公司子公司扩产 -TGV/TSV/TMV -wei*guang*tan*测、yi*liao*ying*xiang、fu*he*ying*zhi*tu*层 -gao*xin*ji*shu企业 one*three*sex*three*two*seven*five*0*0*one*seven
