价格：200起
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| 韩一HVC-1600DA | ||
| MODEL | HVC-1600DA | |
| EB（电子） | 1GUN，，韩一 12穴 | |
| 离子源 | 韩一，（霍尔） | |
| 机械泵 | 爱德华EM275 | |
| 罗茨泵 | 爱德华EM2600 | |
| 深冷 | 韩国V-PLUS1000H | |
| 晶控 | XTC/3S + 单探头 | |
| 加热方式 | 下加热卤灯 | |
| 光驰OTFC1300 | ||
| 型号 | OTFC1300C | |
| 序列号 | S0019 | |
| 电子（双电子有） | JST-10F-2GUN | |
| 坩埚点数 | 24点+28点 | |
| 旋转泵 | ||
| 机械升压泵 | EH500 | |
| 冷泵 | 冷冻U20P*2台 | |
| 冷冻泵/阻蒸 | 无 | |
| 离子源（射频离子源） | 有 | |
| 光学观测（光控＆精控） | 有 | |
| 基板加热heater | 有 | |
| 回转 | 中心回转 |
| 台湾龙翩机1400 | ||
| 配置表 | ||
| 机械泵 | 美国凯尼真空泵 | |
| 罗茨泵 | 德国普发罗茨泵2000A | |
| 电子 | 日本SMATECH10KW 8 | |
| 深冷 | 美国POLYCOLD | |
| 离子源 | 美国KRI考夫曼离子源 | |
| 加热系统 | 上烘烤电加热丝 | |
| 气体流量 | 三路美国布鲁克斯流量计 | |
| 晶控膜厚仪 | 美国英福康SQM-160单探头 | |
| 光控 | 透射光控 | 有阻蒸 |
