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系列光分路器在6英寸晶圆生产线上全部量产,光分路器良率达95%以上,为我国多达百余家封装企业提供高质量的PLC光分路器晶圆及芯片,为我国带来了巨大的经济效益和社会效益,有力地推动了国家宽带战略的顺利实施。1.PLC光分路器的设计及工艺技术突破PLC光分路器对插入损耗、偏振相关性和功分均匀性的要求极其苛刻。输入、输出波导与光纤阵列模场匹配的同时,在6英寸晶圆上设计随着光纤到户(FTTH)国家宽带战略的实施,平面光波回路(PLC)光分路器需求量正显著增加。为此,中国半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室专门组建了研究团队,对平面光波回路(PLC)光分路器产业化进行了专项研究,尤其是对石英基二氧化硅光分路器进行深入研究,并取得了显著成果。
本文对这一研究项目的价值和意义进行了阐述,重点介绍了研究工作进展及成效,以及面临的问题,并针对未来发展趋势,提出相应的对策建议。列光分路器设计及制备技术已在河南仕佳光于科技有限公司得列全面推广和空用。读公用已于2012年底全面完成批量化生产技术的研制与开发，1x8晶固成晶阜超过95%，达列国际水平,1x64及2x32PLC光分路器通过了泰尔认证。PLC光分路器是光通信领城光纤接人网的核心芯片，但我国长期依赖进口。PLC光分路器产业化项目实施以来，我国实现了系列光分路器及阵列波导光棚的自主设计、自主加工，经过严格测试及市场应用，本项目制备的芯片完全满足了商用要求，达到了国际同类产品的先进水平。
日前，PLC光分路器产业化项目转化单位一河南仕佳光子科技有限公同生产的系列光分路昌芯片可完全营化国外进口，产品性能稳定，井得列客户的广泛认可。该公司已成为我国能够系列化，批量化供应市场的PLC光分路昌产品的生产销售企业。它生产的全系列PLC光分路昌品国及芯片已实现批量供货，并在中国电信、中国移动，中国联通光分路器集采中标的封装企业中得到广泛使用，2014年该公司提供的PLC光分路器约占整个市场份额的30%。通过PLC光分路产业化项目的资助，已墙养出硕士学位人员3人，博士学位人员2人。项目组人员共发表6篇，其中5篇为SCI收录。协助合作公司申请发明5项.其中已授权1项。以该项目为基础，进一步申请到了2项国家863项目资助。
