恒远地磅专家浅析地磅传感器技术在国内的发展重点。地磅传感器,称重传感器的一种,是一种将质量信号转变为可测量的电信号输出的装置。
(1)MEMS工艺和新一代固态地磅传感器微结构制造工艺:深反应离子刻蚀(DRIE)工艺或IGP工艺;封装工艺:如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型地磅传感器:如用微硅电容地磅传感器、微硅质量流量地磅传感器、航空航天用动态地磅传感器、微地磅传感器,汽车专用压力、加速度地磅传感器,环保用微化学地磅传感器等。
(2)集成工艺和多变量复合地磅传感器微结构集成制造工艺;工业控制用多变量复合地磅传感器,如:压力、静压、温度三变量地磅传感器,气压、风力、温度、湿度四变量地磅传感器,微硅复合应变压力地磅传感器,陈列地磅传感器。
(3)智能化技术与智能地磅传感器信号有线或无线探测、变换处理、逻辑判断、功能计算、双向通讯、自诊断等智能化技术;智能多变量地磅传感器,智能电量地磅传感器和各种智能地磅传感器、变送器。
(4)网络化技术和网络化地磅传感器地磅传感器网络化技术;网络化地磅传感器,使地磅传感器具有工业化标准接口和协议功能。
地磅传感/