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无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染操控的根底。没有无尘室，污染灵敏零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里边，无尘室被界说为具有空气过滤、分配、优化、结构资料和设备的房间，其间特定的规矩的操作程序以操控空气悬浮微粒浓度，然后到达恰当的微粒洁净度等级。无尘室是指将必定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物扫除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流散布、噪音振荡及照明、静电操控在某一需要范围内，而所给予格外规划之房间。
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