供应硅片甩干机

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常州旭昇甩干设备有限公司

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发布时间：2009-02-13

一、主要用途：
该产品主要用于半导体行业、硅片、掩膜板、太阳能电池等其它类似材料的高洁净度冲洗甩干。主要的工艺流程是：旋转喷淋冲洗＋离心甩干＋氮气加热烘干。 
二、主要技术特点
1.采用人机界面、操作简便。
2.采用PLC控制，故障自动诊断，故障率低并且有报警提示。
3.速度调节，温度调节，每道程序运行时间都可以在触摸屏上调整。
4.氮气温度控制，腔体温度控制。
5.交流伺服驱动系统。
6.碎片率万分之三 
7.可按用户特殊要求配制。
三、结构特点： 
1.轴用直流伺服电机实现无级调速，离心转桶较高转速2800转/分。 
2.离心转桶的转轴和甩干桶之间采用氮气动密封，减少对环境的污染。 
3.橡胶门在工作时充气膨胀，起到密封与安全作用，门上装有安全连锁装置，只有关上门后才能启动。
4.气加热器可以提供热氮气，加速甩干桶水分的蒸发。 
5.定向制动装置，每次停机时，硅片承载器的开口向上，防止硅片掉出。 
6.主要结构采用不锈钢。