供应小型等离子清洗机

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东莞市启天自动化设备有限公司

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关 键 词：等离子刻蚀机

行 业：机械 电子产品制造设备 蚀刻机 

发布时间：2009-12-11

1.主要适用于实验、科研、医学及小规模的生产领域。
             2.特点：成本低，整机机械、电气结构简单、实用，易维护。
             3.控制方式：手动或自动控制模式，利用各简单元器件的巧妙
               组合成自动控制体系，各参数调整好后，一键完成整个清洗工艺。
             4.电源功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。
             5.射频电源手动匹配（*的全固态晶体管输出型）
             6.浮子精密气体流量计、针阀等控制工艺气体流量。
             7.清洗完成有提示音
             8.反射功率过大报警
             9.工艺气体耗尽报警
             10.泵热过载报警
             11.反应仓泄漏报警
             12.电极采用高通量等离子结构，牢固可靠易拆卸。
             13.反应仓为矩形不锈钢腔体，水平电极板放置，间距可调。
             14.真空泵采用双腔式旋片泵，极限真空度可达2Pa以下，一般采用外置。
             15.真空泵可选配液位低报警装置