苏州AE电源专业维修

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行 业：太阳能 光伏产品 电源 

发布时间：2008-06-28

美国AE电源 Advanced Energy RF高频电源 Apex-5513 电镀电源专业维修 
AE(Advanced Energy) 维修案例Manufacturer:Advanced Energy     
Model:APEX 5513 Radio Frequency Generator 
Input Power: ~400V, 3 Phase, PE 50/60 Hz, 15.0 A (or 13.0 if F/R A) 
Output Frequency: 13.56 MHz, +/- 0.005%   
Power Output: 5500 W   
Input Voltage: 400 V nominal, 360-440 VAC, 3 phase, 47 to 63 Hz, with breaker   
Packaging: Frame Mount (< or = to 5500 W)   
Serial I/O: Profibus   
Serial Port 2: default (no secondary serial port)   
Output Impedance: 50 Ohm   
Output Connector: 7/16 Connector   
RF Measurement: Directional Coupler   
AC Power Input: ODU Connector   
Water Fitting Threads: default to 3/8 BSP female (metric threads)   
Custom Configuration: Standard Configurations   
Harmonics: All full-rated output, -40 dBc forward/load when operated into 50-Ohm non-reactive load 
Size (Not Shipping): 13.13 cm (H) x 21.59 cm (W) x 38.1cm (D) 
Water Cooling Temperature: 35°C (95°F) max 

AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)电源维修及销售目录如下： 

AE(Advanced Energy)维修目录: 
Ion Beam Drive: 
●ID-3500、ID-3501、IT-2500、IT-3500 

DC(直流系列): 
●MDX Series: MDX 5、MDX 10、MDX 20、MDX 30、MDX-052、MDX 1K、MDX 1.5K、MDX 500、MDX Delta 
●MDX II Series: MDX II 15kw(15-120KW) 
●PINNACLE Series: Pinnacle 6KW、Pinnacle 12KW、Pinnacle 10KW、Pinnacle 20KW、Pinnacle 8KW、Pinnacle 15KW、PINNACLE 3000 
●PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW、Pinnacle Plus+ Dual output 5KW、Pinnacle Plus+ 10KW 
●DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW、Pinnacle Diamond 10KW、Pinnacle Diamond 15KW 
●MDX-L Series: MDX-L6、MDX-L 6KW Halo、MDX-L12、MDX-L12M、MDX-L12M 650、MDX-L18 
●SPARC Series: Sparc-le 20、Sparc-le V、Sparc VS 
●E''Wave 
●DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR 

AC(交流/中频系列): 
●PE: PE 1000、PE 2500、PE 3750、PE 5000、PE-10K、PE-20K、PE-30K、PE-1000SG 
●PE II：PE II 5KW、PE II 10KW、PE II 60KW 
●PDX：PDX 500、PDX 900-2V、PDX 1250、PDX 1400、PDX 2500、PDX 5000、PDX 7.5K、PDX 8000、PDZ 2200、MSD 350W 
●PDW 600、PDW 2200 
●PDP 2500、PDP 3500 
●PEP 250、PEP 2500、PEP 5000 
●Dressler LFGS:LFGS 1250A、LFGS:LFGS 1250B、LFGS:LFGS 1250C、LFGS:LFGS 1250D 
RF（射频系列）： 
●RFG：RFG 80、RFG 1250、RFG 1250 HALO、RFG 1251、RFG 3000、RFG 3001、RFG 5500、RFG 2K-2V、 
●RFDS 1250、RFDS 1250-A、RFDS 3000、RFDS 2Kw-2KV 
●APEX：Apex 1513、Apex 2027、Apex 3013、Apex 4027、Apex 5513、Apex 7kW/13、Apex 10kW/13、Apex 3513、Apex 10013、Apex 8013 
●Atlas 2、Atlas 1513、Atlas 3013、Atlas 2504、Atlas 2027、Atlas 2012、Atlas 4012、Atlas 5002、Atlas 5012、Atlas 5013、Atlas 5027、Rapid F 
●RFX：RFX 600、RFX 600A、RFX 1250、RFX 2500、RFX 5500、RFG-AZX 
●RFX II：RFX II 1250、RFX II 3000、RFX II 5500 
●HFG：HFG 2500、HFG 5000、HFG 4M 
●HFV：HFV-3K、HFV-5K、HFV-8K、HFV-L 3KW 
●Ovation VHF:VHF-2760W、VHF-2060、VHF-2560、VHF-35162 
●ICP Generator:ICP-1KW、ICP-1.5KW、ICP-1.6KW、ICP-2KW 
●Dressler HPG:HPG 03300、HPG 13150、HPG 13300、HPG 27300 
●Dressler Cesar: Cesar 0210、Cesar 0220(200v/400v)、Cesar 0225(200v/400v)、Cesar 0230(200v/400v)、Cesar 0250(200v/400v)、Cesar 026、Cesar 0410、Cesar 0420(200v/400v)、Cesar 0425(200v/400v)、Cesar 0450(200v/400v)、Cesar 046、Cesar 1310、Cesar 1312、Cesar 1320(200v/400v)、Cesar 1325(200v/400v)、Cesar 133、Cesar 1330(200v/400v)、Cesar 1350(200v/400v)、Cesar 136、Cesar 2710、Cesar 2720(200v/400v)、Cesar 273、Cesar 2740(200v/4000v)、Cesar 276、Cesar 4010、Cesar 4020(200v/400v)、Cesar 403、Cesar 4040(200v/400v)、Cesar 405、Cesar 6010、Cesar 6020(200v/400v)、Cesar 603、Cesar 605 
RFPP(Advanced Energy) RF系列： 
●RF-5S 250/500W、RF-10、RF-10S、RF-20、RF-20S、RF-25、RF-30S、RF-30H、RF-35、RF-40、RF-50、RF-50S、RF-10M、RF-10MWC、RF-20R、RF-20M、RF-25M 
●LF-5、LF-10、LF-20、LF-30、LF-50、 
●HF-5、HF-10、HF-100、HF-150 
Match Networks（匹配网络）： 
●AL-10、AL-15 
●AM-5、AM-10、AM-20、AM-25、AM-30、AM-35、AM-40、AM-50、AM-100、AM-150、AM-250、AM-300、AMU10E-2、AMN-2000、AMNPS-2A 
●ATX-600、ATX-1250、ATX-2500、ATL-100 
●AZX-10、AZX-40、AZX-63、AZX-72、AZX-90、AZX-Dome 
●Navigator 640、Navigator 1013、Navigator 1013-P15、Navigator 1013-L35、Navigator 2502、 
Navigator 3013、Navigator 3013-ICP、Navigator 4027、Navigator 4040、Navigator 5060、 
Navigator 5513、Navigator Dual 5513-2060、Navigator Dual 5513-5502、 
Navigator 5513-L80、Navigator 5513-T150、Navigator 7013-L90、Navigator 10013、Navigator 10013-L140、Navigator 25013、Navigator 25027、Navigator 2040、Navigator 2060 
●VZX-5000、VZX-9100 
●TL-5、TL-10、TL-15 
●LM-5、LM-10、LM-30、LM 8000、LM-IPX、LM Others 
●Mercury 1K、Mercury 2K、Mercury 3K、Mercury 10K 
●ICP-1KW、ICP-1.6KW、ICP-2KW、ICP-5KW 
●P.5000、FTMS-2KW、MFA Series、FM Series、SFM Series 
●Dressler VM:VM 0415-AW、VM 0450 W-ICP、VM 1000A、VM 1500AW、VM 1500 W-ICP、VM 2715-AW、VM 5000 W-10T、VM 5000 W-2T、VM 5000 W-4T、VM 5000 W-6T、VM 5000 W-8T、VM-5000 W-ICP、VM 600A 


ENI(MKS)电源维修目录: 
ENI(MKS) DC(直流电源) 
●DCG Series:DCG-75、DCG-75E、DCG-100、DCG-100Z、DCG-100E、DCG-150、DCG-150E、DCG-200、DCG-200Z、DCG-400、DCG-600 
●RPG Series:RPG-50、RPG-100、RPG-200、Polara-260A 
●OPTIMA Series:OPT-50、OPT-100、OPT-200、OPT-400、OPT-600 
ENI(MKS) RF(射频系列) 
●DPG(RPDG) Series:DPG-10-05、DPG-10 
●ACG Series:ACG-3、ACG-3B、ACG-5、ACG-6、ACG-6B、ACG-10、ACG-10B、2100L-15P；5100L，600L，600P，601P 
●OEM Series:OEM-6、OEM-6A、OEM-6B、OEM-12、OEM-12A、OEM-12A-XL、OEM-12B、OEM-12-B3、OEM-25A、OEM-25-XL、OEM-28B、OEM-50、OEM-1250、OEM-2000、TEL-7000-RF 
●SPECTRUM Series:B-1513、B-3013、B-10013、B-10002、B-5002、B-11002、B-5513Z、B-10513 
●SUREPOWER Series:QL-3513、QL-6513、QL-10513、QL-13013 
●GENESIS(GHW、GMW、GEW、VHF)Series:GHW-12、GHW-25、GHW-50、GHW-80、GHW-2527、GHW-3040、GHW-58A、GHW- 85A、GMW-25A、GMW-25Z、GEW-2527、GEW-3040 
●NOVA Series:NOVA-25A、NOVA-25、NOVA-50A 
●RACK Series :RACK-AM-300 
●OTHERS：DPGS-10、DPGD-10、LPG-6A、LPG-12A、PL1-HF、PL2-HF、PL3-HF、Quanta-10、HF-300、HF-650、HPG-2 
ENI(MKS) 匹配网络 
●D Series:MW-5D、MW-10D MW-5D-01B、MW-5DM12、MW-25D-05M1、MW-25LD、MW-50 
●LD Series:MWD-25LD、MWD-55LD 
●H Series;MWH-5、MWH-25、MWH-100 
●M Series:MWM-25 
●DUAL Series:MW2-30 
●OTHERS:MH-1001A、MH-2002A、RFC-5MW、RFC-6、MHC-1001、MHC-2002、VL-400、ENI-2500W-13.56 
频电源 RF-10M 
低频电源 LF-5 
低频电源 LF-10 
低频电源 LF-30 
低频电源 RF-20M 
MATCHWORK AMNPS-2A 
F电源 RF-50S 
RF电源 RF-30S 
MATCHING WORK AM-20 
MATCHWORK AMN-2000
MATCHING WORK AM-10 
低频电源 RF-25M 
RF电源 RF-20S 
RF电源 RF-10S 
RF电源 RF-10S 
RF电源 RF-10
RF电源 RF-5S/500W 
RF电源 RF-5S/250W
RF电源 GHW-12 
RF电源 GHW-85A 
RF电源 GHW-50 
RF电源 GMW-25A 
RF电源 GHW-85A 
RF电源 GMW-25Z 
直流电源 OPTIMA系列 
直流电源 OPTIMA-1.5ASSY
直流电源 Polara-260A 
直流电源 RPG-50 
直流电源 DCG-200 
直流电源 DCG系列 
直流电源 DCG-100 
直流电源 DCG-200A 
RF电源 OEM-6 
RF电源 OEM-6A 
直流电源 DCG-MODULE
直流电源 DCG-200Z 
直流电源 DCG-600Z 
RF电源 OEM-12 
RF电源 OEM-6B 
RF电源 OEM-12A 
RF电源 OEM-12A XL 
RF电源 OEM-12B 
RF电源 OEM-12B3 
RF电源 OEM-28B RF 
RF电源 OEM-25A 
RF电源 OEM-28B 
RF电源 OEM-25XL 
RF电源 OEM-650A 
RF电源 OEM-50 
MatchWork 5017-000 
LF-5 
RF PDX-7.5K 
RF电源 OEM-DA PA 
RF电源 OEM-2000 
RF电源 OEM-1250 
RF电源 OEM-650A XL

AE(Advanced Energy) PINNACLE 20KW
AE(Advanced Energy) MDXⅡ-18KW 
AE(Advanced Energy) RFPP LF10A 
AE(ADVANCED ENERGY) ID-3500 
AE(Advanced Energy) PINNACLE 6KW
ENI(MKS) RF Generator ACG-3B 
AE(Advanced Energy) RF GENERATOR HFV-8000 
AE(Advanced Energy) Diamond 8KW 
AE(Advanced Energy) RFG-1250 
ENI(MKS) GENESIS GW2502MA-F1N132-A1
ENI(MKS) GHW-50A GHW50A-13DF3H0-001 
AE(Advanced Energy) RFG 2000-2V 
AE(Advanced Energy) Apex-3013 RF13.56MHz 
AE(Advanced Energy) MDX13 13KW 
AE(Advanced Energy) Pinnacle 8KW 
AE(Advanced Energy) Pinnacle 12KW 
ENI(MKS) OEM-12A-21041-51 1250W 
AE(Advanced Energy) Matching Work ATX-600 
AE(ADVANCED ENERGY)MDX-10KW Delta 
Drive ID-3501
Ion Beam Drive ID-3501 
DC Pulsing ARC Handling E-wave 
DC PulsingARC Handling Sparc-le V 
DC PulsingARC Handling Sparc-le 20 
DC Magnetron Rapid F-6KW 
Remote Interface MDX-L 
Remote Interface MDX-052
RF高频电源 RFX-600 
RF高频电源 RFX-1250 
RF高频电源 RFX-2500 
RF高频电源 RFG-1250 
RF高频电源 RFG-3001 
RF高频电源 RFG-3000 
RF高频电源 RFG-1251 
RF高频电源 RFG-1250HALO 
RF测量仪 GenCal™ 
Matching Work RFC-6-01 
RF电源ACG-10 
RF高频电源 Apex-10kW13 
Matching Work RFC-6 
Matching Work MWD-5 
Matching Work MW-100
RF电源 OEM-1250B 
Matching Work MW
OEM Series RF 
Matching Work MW-5002
SPECTRUM B-5002-02 
SPECTRUM RF POWER SENSE 
交流高功率电源 CRYSTAL 
GMW-50A-13DF3H0-003
GHW50Z-13DF3HO-00 
RF电源 Spectrum-10513-10 
GHW25A-13DF3N0-001 
GHW50A-12DF3S0-000 
RF电源 GHW-12A 
RF电源　GHW-12Z 
GENESIS-5.5KW RF DESK
SPECTRUM 13.56 POWER SENSE 
RF电源 SPECTRUM B-1513 
RF电源 GHW-80A 
GHW12Z-13DF2NH01 
GHW50A-13DF3H003 
RF电源 SPECTRUM B-5002RF 
GENESIS-12Z&12A FP
RF电源 SPECTRM B-500201 
RF电源 SPECTRUM B-10513 13.56M 
RF电源 SPECTRUM B-1051301 
RF电源 SPECTRUM B-11002 
F电源 SPECTRUM B-301307 
RF电源 SPECTRUM B-1051300
SPECTRUM 000-1113-0762M PSU 
RF电源 SPECTRUM B-3013xx 
F电源 SPECTRUM B-3013RF 
RF电源 SPECTRUM 000-1113-077 
SPECTRUM 000-9239-081 
SPECTRUM 2M5KW TOP 
RF电源 SPECTRUM 2MRF ASSY 
RF电源 SPECTRUM 5KWPSU
GENESIS-40M RF 
MatchWork MW-25LD-XX
RF电源 SPECTRM B-5002PSU 
RF电源　GENESIS-FP
Matching Work MW-2-30 
Matching Work MWH 
MatchWork MWD-55-LD
MATCHWORK MWH-100-01 
RF电源 NOVA-25A-03 
RF电源 NOVA-50A-01 
Matching Work MWH-100
RF电源 NOVA-50A-04 
RF高频电源 Apex-7kW13 
RF电源 NOVA-50-XX 
RF高频电源 RFG-1250HALO
RF高频电源 VHF-2060 2KW 
RF高频电源 Apex-3013 
RF高频电源 Apex-5513 
RF高频电源 Apex-1513 
RF/高频电源 RFXⅡ-3000 
RF高频电源 Apex-3513 
中/低频电源 PDX-1250 
RF高频电源 HFV-8000 58KW 
中/低频电源 PDX-900/900-2V 
中/低频电源 PEP-5000 
中/低频电源 PE-10K 
中/低频电源 PDP-2500 
中/低频电源 PE-20K 
中/低频电源 PE-5000
中/低频电源 PDX-500 
中/低频电源 PE-1000 
中/低频电源 PE-2500 
中/低频电源 PDX-8000 
中/低频电源 PDX-7.5K 
中/低频电源 PDX-5000 
中/低频电源 PDX-1400 
中/低频电源 PDX-2500 
中/低频电源 PDW-2200 
Matching NetWork 5031-000 
Matching NetWork 5031-020
Matching NetWork 5026-001 
Matching NetWork LM-8000 
Matching NetWork ATX-600 
Matching NetWork P.5000 
Matching NetWork 5017-003 
Matching NetWork AMU10E-2 
DC Magnetron Pinnacle 3000 
DC Magnetron MDX 500W 
DC Magnetron MDX 1KW/1.5KW 
DC Magnetron MDX-10kw Delta 
DC Magnetron MDX-20kw 
DC Magnetron MDX-5kw 
DC Magnetron MDX-10kw 
DC Magnetron MDXII 15/30KW 
DC Magnetron DIAMOND 8/10/15KW 
DC Magnetron Pinnacle 10KW 
DC Magnetron Pinnacle 20KW 
DC Magnetron Pinnacle 8/15KW
DC Magnetron MDX-L12M 650 
DC Magnetron MDX-L12M 
DC Magnetron Pinnacle 6KW 
DC Magnetron MDXII 18/24KW
Matching Work MW-5D 
Matching Work MH1001A
DC Magnetron MDX-L6
Matching Work MW-25LD
Matching Work MH2002A 
DC Magnetron MDX-L12 
Matching Work MW-10D 
Matching Work RFC-5MW 
Matching Work MW-50 
Matching Work MWH-5
Matching Work RFC-6 
Matching Work MHC1001
Matching Work MHC2002
Matching Work VL-400 
MatchWork MW-5DM12 
MatchWork MW-5D-01B 
RF电源 ACG-3B(6B) 
MatchWork MW25D-05M1 
MatchWork MWD-25LD 
RF电源 ACG-6B 
电源 ACG-10 
RF电源 ACG-10B
RF电源 ACG-5 
RF电源 ACG-3 
RF电源 ACG-6 
RF电源 ACG-12B 
RF电源 ACG-10PA 
低频电源 RF-10MWC 
低频电源 RF-20R 
RF电源 ACG-RF DECK
RF电源 ACG-10RF

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