自动监测

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关 键 词：监测仪器

行 业：仪器仪表 气体检测分析仪 

发布时间：2022-04-26

MKS MultiGas™ 6030傅利叶变换红外光谱分析
仪是以傅利叶变换红外为基础的多气体光谱分析
仪。其具有ppb到ppm的灵敏度。广泛用于半导体
生产工艺控制和监控，气体纯度和组成分析，环
境有毒有害气体监测和工业尾气监测。
MultiGas™6030傅利叶变换红外光谱分析仪能分
析含有高达40%水气的样品， 能同时分析和显示
多达 30 种气体。分析仪储存了*性的标定光
谱，节省了昂贵的标气成本。另外，使用者也会
发现MultiGas™6030傅利叶变换红外光谱分析仪
较其耐用，全自动化操作，使用简便，易于维护。