价格：300000起
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系列名称 QV ACCEL 808 QV ACCEL 1010 QV ACCEL 1212 QV ACCEL 1517
光学系统 PRO PRO3 PRO PRO3 PRO PRO3 PRO PRO3
标准型 型号 QV-A808P1L-D QV-A808P3L-D QV-A1010P1L-D QV-A1010P3L-D QV-A1212P1L-D QV-A1212P3L-D QV-A1517P1L-D QV-A1517P3L-D
货号 363-315-10Y 363-316-10Y 363-335-10Y 363-336-10Y 363-355-10Y 363-356-10Y 363-375-10Y 363-376-10Y
跟踪自动对焦装置 型号 QV-A808T1L-D QV-A808T3L-D QV-A1010T1L-D QV-A1010T3L-D QV-A1212T1L-D QV-A1212T3L-D QV-A1517T1L-D QV-A1517T3L-D
货号 363-321-10Y 363-322-10Y 363-341-10Y 363-342-10Y 363-361-10Y 363-362-10Y 363-381-10Y 363-382-10Y
测量范围 800×800×150mm 1000×1000×150mm 1250×1250×100mm 1500×1750×100mm
分辨力／长度基准 0.1µm／线性编码器
倍率装置*1 可编程电动转台 1×-2×-6×
影像装置 黑白CCD 3CCD彩色 黑白CCD 3CCD彩色 黑白CCD 3CCD彩色 黑白CCD 3CCD彩色
照明装置*2 反射照明 白色LED
透射照明 白色LED
程控环形照明 白色LED
测量精度*3 E1 XY轴 (1.5+3L/1000)µm (2.2+3L/1000)µm
E1 Z轴 (1.5+4L/1000)µm (2.5+5L/1000)µm
E2 XY平面 (2.5+4L/1000)µm (3.5+4L/1000)µm
精度保证光学条件 2.5倍物镜(QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X) + 低倍管透镜
重复精度*3 短寸法 XY轴 3σ=0.2µm
长寸法 3σ=0.7µm 3σ=1.5µm
精度保证温度 环境温度 20±1 ˚C
温度变化 2ºC/8H
LAF重复精度*4 σ≦0.8µm*5
工作台玻璃尺寸 883×958mm 1186×1186mm 1440×1440mm 1714×1968mm
台面承重*6 10kg 30kg 30kg 30kg
主机外观尺寸 1475×1860×1578mm 1912×2141×1603mm 2166×2370×1554mm 2440×2898×1554mm
主机重量 2050kg 2950kg 3600kg 4500kg
