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发布时间：2022-03-02
空气分子污染AMC作为IC工厂关心的问题于20年前先由日本人提出，近年来，世界Ic卡技术展开疾速，IC芯片日益微型化，目前曾经有赢径为0.4lilln的世界小的非接触型无线射频识别芯片。AMC对当前的IC消费其潜在的污染比粒子污染要普遍多，粒子污染控制只需求肯定粒径及个数，但对AMC控制而言，除了受芯片线宽的减少而变化外，并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响。
在地质上应避开断层、流砂，选择地质构造稳定（解释:稳固安定；没有变动)、土层密实、地下水位变化较小的地区。合理利用地形、地貌，十万级洁净车间费用，例如利用河流、地面高差等自然条件，景洪十万级洁净车间，减少环境振动对厂区及洁净车间的影响。洁净车间选址应采用先进的测量仪器（appliance），它应具有良好的频响、高灵敏度(Sensitivity)及信噪比，在工程建设中必须坚持采用实地测试（TestMeasure)、分析(Analyse)比较的方法选择理想的厂址，切忌未经测试分析而由行政部门主观规定。
洁净厂房是我国的耗能大户之一。据不完好统计，十万级洁净车间设计，洁净室的能耗是普通写字楼的10~3O倍。我国的8英寸芯片厂，洁净室单位面积能耗比美国同类型工厂高15%（美国耗能1.28kw/m2~2.63kW/m2，而中国耗能1.48kW/m2~1.93kW/m2）。以上海某名芯片厂为例，其全年耗电量的51%是用于洁净室运转及相关的维护，假设将这51%的能耗合理降低，对企业来说就意味着利润的增长。
