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山东博山真空泵厂有限公司
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螺杆式干式真空泵应用一类是以半导体行业为代表，要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。对半导体行业中应用的真空系统的要求大体分为三个等级。
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喷射泵在产生真空方面的应用：
因为单级喷射泵只能克服较其有限的压缩比，当抽吸压力低时，几个喷射泵必须串联安装。多级水蒸汽喷射真空泵的抽吸压力可以达到低至0.01mbar。为了冷凝大部分的动力水蒸汽并使下一级的抽吸量减少，一般在两个喷射泵中间安置一个冷凝器。根据应用场合，脱水真空泵价格低，采用直接接触冷凝器或表面冷凝器。
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螺杆式干式真空泵的应用：广泛应用于电子、核能、化工、药品、食品工业等领域。化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取回收溶剂，清除喷射器中的阻塞物；药品工业中用于回收药液及中间体，为人造脏器生产提供清洁无菌条件，回收气体消毒的药剂。
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