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发布时间:2022-02-10
化学气相沉积法在金属材料方面的使用
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钯的化学气相沉积Pd 及其合金对氢气有着较强的吸附作用以及特别的选择渗透性能,是一种存储或者净化氢气的理想材料。对于Pd 的使用大多是将钯合金或是钯镀层生产氢净化设备 。也有些学者使用化学气相沉积法将钯制成薄膜或薄层。具体做法是使用分解温度较低的金属**化合物当做制备钯的材料,具体包括:烯丙基Pd(η-C3H5) (η-C5H5)以及 Pd(η-C3H5)(CF3COCHCOCF3)之类的材料,气相化学沉积设备哪家好,使用这种方式能够制取出纯度很高的钯薄膜。
化学气相沉积法在金属材料方面的使用
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化学气相沉积法生产金属铱高温涂层从20世纪80年代起,NASA 开始尝试使用金属**化合物化学气相沉积法制取出使用铼基铱作为涂层的复合喷管,并获得了成功,这时化学气相沉积法在生产金属涂层领域才有了一定程度上的突破。
NASA 使用了C15H21IrO6作为制取铱涂层的材料,气相化学沉积设备,并利用 C15H21IrO6的热分解反应进行沉积。铱的沉积速度很快,气相化学沉积设备价格,可以达到3~20μm/h。 沉积厚度也达到了50μm,C15H21IrO6的制取效率达 70%以上。
化学气相沉积技术在材料制备中的使用
化学气相沉积技术生产多晶/非晶材料膜:
化学气相沉积法在半导体工业中有着比较广泛的应用。比如作为缘介质隔离层的多晶硅沉积层。在当代,微型电子学元器件中越来越多的使用新型非晶态材料,这种材料包括磷硅玻璃、硼硅玻璃、SiO2以及 Si3N4等等。此外,也有一些在未来有可能发展成开关以及存储记忆材料,例如氧化铜-氧化铜等都可以使用化学气相沉积法进行生产。
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