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沈阳鹏程真空技术有限责任公司
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发布时间:2022-01-31
脉冲激光沉积的原理
脉冲激光沉积原理:在真空环境下利用脉冲激光对靶材表面进行轰击,利用激光产生的局域热量将靶材物质轰击出来,再沉积在不同的衬底上,脉冲激光沉积装置公司,从而形成薄膜。
脉冲激光沉积技术适合做的薄膜包括各种多元氧化物,氮化物,脉冲激光沉积装置哪家好,硫化物薄膜,金属薄膜,磁性材料等。
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脉冲激光沉积系统配置介绍
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脉冲激光沉积系统配置:
生长室,脉冲激光沉积装置多少钱,进样室可选水平、垂直两种靶台可选激光加热和辐射加热两种样品台可选,激光加热高的温度1200℃工艺气路可以任意搭配配备高压RHEED,工作气压可达100Pa可预留法兰,用于LEED,K-Cell, E-beam等其它可选项如臭氧发生器,离子源,掩膜系统等。
脉冲激光沉积原理
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脉冲激光沉积原理:在真空环境下利用脉冲激光对靶材表面进行轰击,利用激光产生的局域热量将靶材物质轰击出来,再沉积在不同的衬底上,从而形成薄膜。