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青岛福润德微电子设备有限公司
联系人：颜廷福
电话：13658669338
地址：青岛市城阳区北万工业园6号
产品应用：应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域，适用2～8英寸工艺尺寸 产品特点： ◆主机为水平一至四管炉系统构架，独立完成不同的工艺或相同工艺 ◆工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制 ◆采用悬臂送片器：操作方便、无摩擦污染等 ◆关键部件均采用进口，确保设备的高可靠性 ◆工艺管路采用进口阀门管件组成-气密性好、耐腐蚀、无污染（管路均采用EP级电抛光管路），流量控制采用质量流量计（MFC）进口 ◆控温精度高，温区控温稳定性好； ◆具有断电报警、**温报警、极限**温报警等多种安全保护功能 ◆高质量的加热炉体，确保恒温区的高稳定性及**命