高温扩散炉炉体

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青岛福润德微电子设备有限公司

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产品规格：定制

产品数量：1 个

包装说明：定制

关 键 词：炉体

行 业：机械 电子产品制造设备 

发布时间：2024-04-13

可完全代替进口炉体，优质加热炉丝，进口保温材料，采用国外先进加工工艺，炉体可长期使用在高温下，处理12英寸以下硅片，工作温度2000℃-1286℃。
设备特点：
可保存多条工艺曲线每条曲线可设置多步
工艺曲线的自动运行控制功能
工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能
自动运行中可暂停／继续运行功能
可存储多组PID参数供系统运行调用功能
PID参数自整定功能
工艺气体的程序控制功能
关键部件全部具有高可靠性
具有良好的人机界面
系统故障自诊功能
停电后断点继续运行功能等等
具有多点温度补偿
技术指标：
可配置工艺管外径2～8英寸
可配置工艺管数量：1～4管/台
工作温度范围：400～1300℃
恒温区长度及精度：300～1250mm 800～1300℃±0.5℃
单点温度稳定性：800～1300℃±0.5℃/24h
可控升温速率：15℃/min
降温速率：5℃/min