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东莞市恒芯半导体设备有限公司
联系人:晁晓鹏
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地址:谢岗镇谢岗银湖路9号2号楼201室
在线式等离子清洗机使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害,自动化清洗机厂家直供,同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题;避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂,这样清洗后不会产生有害污染物,因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在**高度关注环保的情况下越发显出它的重要性;采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同,自动化清洗机厂家直供。等离子体的方向性不强,这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务,自动化清洗机厂家直供,因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果像是甚至更好;使用在线式等离子清洗机,可以使得清洗效率获得较大的提高。在线式等离子清洗机设备参数分级管理,提高操作安全性。自动化清洗机厂家直供
在线式等离子清洗机中的工艺冷却水是工业生产中较常用的温度控制介质,应用非常普遍,按应用类别分主要分为无尘车间冷却、工艺设备冷却及生产制程冷却等,在在线式等离子清洗机中的应用就属于工艺设备冷却。在线式等离子清洗机的等离子发生器是设备的中心部件,小型的在线式等离子清洗机通常使用功率小,等离子发生器自身所产生的热量也比较小,通常会采用风冷的方式进行冷却除温。但大型在线式等离子清洗机都是会使用输出功率比较大的等离子发生器,在工作中自身产生的热量也是非常大的,为了保证设备使用的稳定性、增加其使用寿命,大功率的等离子发生器都是采用工艺冷却水除温的方式进行冷却降温。自动化清洗机厂家直供在线式等离子清洗机的处理效果非常均匀稳定。
等离子清洗晶圆的要求是非常高的,需要在千级以上的无尘室中进行,而且离子清洗机的腔体一定要是铝质,不能是不锈钢材质;在摆放晶圆时,托架滑动部分要尽量采不容易产生粉尘和被等离子腐蚀的材料。在清洗晶圆时,先将晶圆放入在线式等离子清洗机的真空反应腔体内,然后抽取真空;在腔体内达到一定真空度后,通入反应气体,这些反应气体会被高压电离形成很多等离子体,这些等离子体与晶片表面产生化学或物理反应后,会生成可挥发性物质被在线式等离子清洗机配件真空泵抽走,留下更清洁并具亲水性的晶圆表面,完成晶圆清洗过程。
在线式等离子清洗机调整参数的时候,根据仪器测量的结果对机器的参数做调整。等离子清洗的时间合适就行了,也不越长越好,时间长了没有必要,也影响产能。有不少材料对等离子清洗的温度有严格的要求,有些材料比较薄,还有的会比较脆弱,就不能使用高温等离子清洗。对于这种类型的材料,比较多的是采用等离子清洗。等离子可以控制到30多度,也就是平时环境的温度。平时需要用低温等离子清洗的包括有手机摸组、半导体行业的线路板等等。大气压等离子主要是清洗一些表面平整并且耐高温的材料。在线式等离子清洗机中的等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质。
清洗的对象经过在线式等离子清洗机清洗之后是干燥的,不需要再经风干或干燥处理就可送往下一道工序、可以提高整个工艺流水线的处理效率。利用高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体运行的方向都是零散性的,这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成各种清洗任务,因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好。所以在线式等离子清洗机在很多高新科技行业中得到了普遍的应用,尤其是在汽车及半导体、微电子行业以及集成电路电子行业和真空电子行业中的应用,可以说在线式等离子清洗机是一种重要的设备。在线式等离子清洗机中的系统控制单元分三种。自动化清洗机厂家直供
在线式等离子清洗机提高了设备的自动化水平。自动化清洗机厂家直供
在线式等离子清洗机特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗;在完成清洗去污的同时,还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等,这在许多应用中都是非常重要的。容易采用数控技术,自动化程度高;具有高精度的控制装置,时间控制的精度很高;正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层,表面质量得到保证;由于是在真空中进行,不污染环境,保证清洗表面不被二次污染。在线式等离子清洗机利用等离子体对材料表面进行改性,主要是利用等离子体与材料表面发生的物理与化学反应来对材料表面进行改性,以加强表面性能。自动化清洗机厂家直供
东莞市恒芯半导体设备有限公司总部位于谢岗镇谢岗银湖路9号2号楼201室,是一家主要研发、设计、生产、销售:半导体体设备、等离子清洗机、自动仓储设备、通用机械设备、电子电器产品、货物或者技术进出口。以”等离子清洗机”为起点,力求打造成国内外的”半导体制程设备”、”多行业清洗设备”供应商。公司以创新、可靠的解决方案,以提供生产效率为指导方向,依靠本身的管理、研发、生产能力以及快捷的反应速度,为客户提供更好的产品和周到的服务。的公司。东莞恒芯拥有一支经验丰富、技术创新的专业研发团队,以高度的专注和执着为客户提供真空等离子清洗机,在线式等离子清洗机,大气等离子清洗机,水滴角测试仪。东莞恒芯继续坚定不移地走高质量发展道路,既要实现基本面稳定增长,又要聚焦关键领域,实现转型再突破。东莞恒芯创始人晁晓鹏,始终关注客户,创新科技,竭诚为客户提供良好的服务。