价格：2380起
河南信展展览有限责任公司
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2022深圳国际电子设备及检测仪器展览会
时间：2022年4月9-11日
地点：深圳会展中心
【单位】
中国电子器材有限公司
工业和信息化部
深圳市
各省市电子器材公司
闽台区电机电子工业同业公会
中国电子元件行业协会
中国电子仪器行业协会
中国电子质量管理协会
中国电子设备工业协会
中国电子学会通信学分会
中国半导体行业协会
中国香港贸易发展局
中国光学光电子行业协会光电器件分会
中国光学学会激光加工会
中国真空电子行业协会
参展范围
1.MEMS 加工设备：薄膜成形（汽相淀积、溅射、CVD、覆镀；系统、蚀刻技术；防腐处理；刻蚀；晶圆键合；切割；芯片/导线焊接；封装；微成形 (, 热压)；其他生产设备等；
2.纳米压印技术：微纳米模型；纳米压印生产设备等；
3.纳米机械微制程技术：**精度纳米机械工艺；**精密加工, 微制造；表面微加工；精细钻孔；微观切割；雷射、离子脉冲加工；聚焦离子束系统；微放电加工；超声波设备等；
4.分析与检测仪器：光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统；显微镜：光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪；检漏仪器、静电负离子空气净化机；气体分析及检测、分析和测量系统等；
5.软件建模：设计工具、仿真软件、CAD & CAE分析软件等；
6.MEMS 代工服务：仿真设计、原型测试、产品开发、量产；其他代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀等；
7.材料：压电薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、抗压材料、附着材料、保护材料；碳纳米管、蓝宝石、聚合物、陶瓷；LTCC 基板Glass 、SiC；磁性材料、铁电性材料等；
8.生物技术与应用：MEMS 在处理及诊断方面的应用、DDS、纳米；DNA & RNA 技术、微反应器、微流引导等；
9.MEMS 器件：光学MEMS (反射, 光量开关, 扫描等)；射频MEMS (开关，振荡器，过滤)；MEMS物理传感器 (加速传感器，速率传感器，压力传感器，气体传感器，温度传感器)；微射流（微流引导，微感应器等）；MEMS执行器（灯，泵）；MEMS电能（燃料电池，微发电机等）；生物/化学MEMS（DNA/RNA技术，化学检测等）；高复合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一体化)等
10.MEMS 应用：品 (麦克风,显示等)；**微型机械人装置、微型工厂等；传感器网络；能量收集等；