深圳LED灯条耐高温抗紫外线派瑞林镀膜加工 派瑞林外协
价格:0.30起
Parylene采用了一种特的化学气相沉积工艺(CVD)。CVD工艺早应用于半导体工业的外延生长,整个过程是气态反应,又在真空条件下进行,因而可以获得非常均匀的涂层,达到其它方法难以实现的同形性。过程主要有三步:
1.真空130℃条件下固态派瑞林材料升华成气态。
2.真空680℃条件下,将气态双裂解成活性单体。
3.真空常温下,气态单体在基体上生长聚合。
Parylene在传感器、换能器上的应用
随着物联网成为现实,各类传感器应用也越来越广泛,如智慧城市、智慧、人工智能、无人驾驶、可穿戴设备等,且用于各种复杂环境和极端环境中。用于这些恶劣环境中的传感器,无疑会出现生锈、腐蚀、受潮等现象,致使无常工作。派瑞林涂层能耐酸碱和,对水汽和盐雾等恶劣环境有极好的阻隔能力,同时,派瑞林涂层很薄(几微米甚至可以做到几百纳米),对传感器的灵敏度影响很小,目前被各类传感器作为材料。
派瑞林镀膜加工的磁性材料主要有:
1、铁氧体磁芯
2、钕铁硼
3、五金垫片
4、小金属零部件(小弹片、小弹簧、小钢片)
作用:绝缘、防锈、卷线保护
Parylene超薄透明的涂覆为磁体和铁氧体磁心提供优良的介电特性。与工业标准涂层相比,它的介电常数和损耗因子较低,而介电强度较高。粘结钕铁硼 元件非常脆弱, Parylene涂层的另一个优点是提高强度。各种金属、磁性、钕铁硼材料容易受大气湿度腐蚀,而Parylene的透水性极低,因而能够保护材料免受腐蚀。
Parylene在MEMS及半导体产品上的应用
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
Parylene能在0.2um厚时就完全没有针孔,5um时就能耐1000V以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。