光刻机减震器三坐标减震器二次元测量仪减震器

价格：95.00起

贝尔金减振设备制造（昆山）有限公司

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关键词：二次元测量仪减震器,光刻机减震器

发布时间：2021-11-05

精密气浮式减震器BK-PA

→ BK-PA精密气浮减振器能够为计量器具，电子显微镜，核磁共振设备，测量三坐标和精密加工设备提供低频率下的减振功能。

→ BK-PA的精密气浮减振系统采用伺服控制的空气弹簧。在需要同时控制高度和振动的条件下，这种减振器是非常理想的。

→ BK-PA精密气浮减振器满足了计量器具，电子显微镜，检测设备和精密加工设备的严格要求。

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● BK-PA减振器描述

标准的BK-PA减振器拥有低至1.7Hz的固有频率。某些订制产品的固有频率可以低至0.5Hz。

完整的BK-PA系统包含至少3个主动减振器（因为3点决定一个平面）。每个减振器都有一个水平调节阀，它是负载传感器和高度控制单元。可以根据设备的重量增加所需的动减振器的数量

● BK-PAA 减振器的性能

BK-PA减振器可以自动回复到原定的水平位置，进而对于支撑负载的变化和重心的转移做出快速的反应。

气浮式减振系统的性能是需要在减振器固有率，水平调节阀的精度和系统回复稳定时间这三个因素相互调节的。

减振系统会配置一个控制盒，高度自动控制阀，连接管路和其他安装用的配件。
对于一个确定的输入干扰振动，回复稳定时间是指减振器回复到初始设定位置的时间。这个干扰可以是外界的或者是机器本身引起的，例如龙门吊架或者机台的运行。
短的回复稳定时间取决于阻尼和对应的阀流量。回复稳定时间过长的气浮式减振器是不可接收的，因为精密测量和定位机械可能会因此产生重复性误差和生产效率的下降。
针对不同的案例，BLK可以提供不同的水平调节阀。在减振方案的设计中，阀的流量、刚度和精度都是主要的参数。BLK的水平调节阀的精度可以达到+/- 0.15mm 或+/- 0.025mm。阀的流量和刚度可以根据减振器的设计和阻尼来选择。

产品参数

垂直（可调节）	6%-20%	6%-20%
水平	5%-6%	5%-6%