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氦质谱检漏仪的工作原理是什么?
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气,用质谱检漏仪在不腔体外,不同部位检测,如果密封存在问题,则有氦气泄漏,氦质谱检漏设备品牌,被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪,对分辨率和检测的质量范围要求很低,但对灵敏度要求较高。其实各个种类的质谱仪都可用来作为检漏质谱仪。
氦质谱检漏仪的环境条件
氦质谱检漏仪是现在比较常用的仪器,今天华诚浩达的小编就和大家来说一下,氦质谱检漏仪的使用环境条件有哪些,正压氦质谱检漏设备品牌,希望对您有所帮助!
校准环境温度为(23 ± 5) ℃ ,校准过程中室温变化不**过± 1℃ ,环境相对湿度不大于80% 。
校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。
环境温度较好控制在23℃ 附近,因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃ 。
氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪分析器的作用是使不同质荷比的离子按不同轨迹运动从而将它们彼此分开,仅使氦离子通过其出口隙缝。分析器由一个外加均匀磁场及一个出口电极组成。
氦质谱检漏仪分析器的出口电极一般采用三栅结构。在离子收集较前面有三个栅较G1、G2、G3。G1和G3接地,中间栅较G2与离化室相连。G1栅的狭缝决定了氦离子的运动半径,而使除氦以外的其他离子打不到收集较上去。中间栅较G2的正电位对于正离子而言相当于一个拒斥电场,只有具有一定能量的氦离子才能通过G2的狭缝,而由于碰撞失去能量的其他杂散离子即使进入G1狭缝,正压氦质谱检漏设备品牌,也不能通过G2狭缝到达收集较,使收集较的氦离子流不受这些杂散离子的干扰。栅较G3是抑制离子在收集较上打出的二次电子不跑向G2,使它仍返回收集较,以防离子流的不稳定。