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沈阳鹏程真空技术有限责任公司
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真空腔体中抽气管道的设计原则
工艺室的抽气速率将低于泵入口的抽气速率,相差多少取决于抽气管道的属性(例如长度和尺寸)。尽量降低工艺室和泵入口之间的压力差就可以使抽气速率损失减到少。
显然,抽气管道的属性对于性能十分关键。此时还需要考虑其它因素:流导。
我们采用流导(阻力的倒数)这一术语来定义“管道传递流动的能力”。流导的计量单位是每单位时间的体积并且和抽气速率的单位相同。工艺室抽气速率(S)可用抽气管道流导(C)和应用泵速(Sp)计算,如下所示:
S = (Sp*C)/(Sp C)
当C远远大于Sp时,则S近似为Sp;当Sp远远大于C时,则S近似为C。真空腔体
工艺室的抽气速率始终低于应用泵速而且低于抽气管道中部件的小流导(通常为小直径)。
在某种程度上管道短而粗是好的
采用短的大直径抽气管道尽量提高管道流导是不错的做法,但只限于当抽气速度S接近泵速(Sp)较值的情况。
除此之外,通过增加管道直径(成本也会相应增加)来增加流导并不能显著提高工艺室抽气速率;换而言之,如果抽气管道流导受限并且由于物理因素不能增加,当(S)接近管道流导(C)较值,非标定制价格,一味通过增加应用泵速来提高工艺抽气速度也是不经济的。
真空腔体加工
真空腔体在薄膜涂层、微电子、光学器件和材料制造中,是一种能适应高真空环境的特殊容器。真空腔体通常包括一系列部品——如钟形罩、基板、传动轴以及辅助井,这些构成一个完整的真空腔体。
相关真空机械加工:**高真空系统典型腔体、真空零部件加工、真空转接头、真空连接件。我们的制造工程师具有熟练的加工、焊接高真空和**高真空腔体用材料的能力,非标定制哪家好,如304/304L/316/316L/316LN/410/416,我们有长期加工制造经验,非标定制厂,制作材料有保证。真空腔体的制造从原料采购,制造工艺,焊接方法,表面处理,氦泄漏检查,焊后加工出来的成品的尺寸测量,还有表面是否有磨砂粒,是否粗糙,是否美观,非标定制,是否进行了表面处理,是否符合客户的一系列系统中的运用,都由我们严格把关。真空室材质:304SS、304LSS、316SS、316LSS、 铝真空等级:基本压力、可接受的的泄漏率表面处理:机械抛光、电解抛光、化学清洗特殊要求:真空烘烤、残余气体分析额外配件:盲板法兰、旋转位移器、观察窗需求检验报告:三坐标检测报告、合格证书、材质证明
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真空腔体制造技术介绍
真空腔体在薄膜涂层、微电子、光学器件和材料制造中,是一种能适应高真空环境的特殊容器。真空腔体通常包括一系列部品——如钟形罩、基板、传动轴以及辅助井——这些构成一个完整的真空腔体。
复杂的真空腔体通常需要定制,即针对应用终端进行专门的设计和制作。某些常见的真空腔体已经过预先设计,如手套箱、焊接室、脱气箱、表面分析真空腔等。例如脱气箱和手套箱一般采用低真空环境,可用于焊接,或用于塑料制品、复合材料层压板、封装组件等的脱气。