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沈阳鹏程真空技术有限责任公司
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发布时间:2021-08-24
脉冲激光沉积简介
随着现代科学和技术的发展,薄膜科学已成为近年来迅速发展的学科领域之一,脉冲激光沉积装置厂家,是凝聚态物理学和材料科学的一个重要研究领域。功能薄膜是薄膜研究的主要方面,它不仅具有丰富的物理内涵,而且在微电子、光电子、**导材料等领域具有十分广泛的应用。长期以来,人们发明了多种制膜技术和方法:真空蒸发沉积、离子束溅射、磁控溅射沉积、分子束外延、金属**化学气相沉积、溶胶- 凝胶法等。上述方法各有特点,并在一些领域得到应用。但由于其各有局限性,脉冲激光沉积装置报价,仍然不能满足薄膜研究的发展及多种薄膜制备的需要。随着激光技术和设备的发展,特别是高功率脉冲激光技术的发展,脉冲激光沉积(PLD)技术的特点逐渐被人们认识和接受
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脉冲激光沉积系统的配置介绍
沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售脉冲激光沉积,我们为您分析该产品的以下信息。
1.靶: 数量6个,大小1-2英寸,被激光照射时可自动旋转,靶的选择可通过步进电机控制;
2.基板:采用适合于氧气环境铂金加热片,大小2英寸,加热温度可达1200摄氏度,温度差lt;3%,加热时基板可旋转,工作环境的压力可达300mtorr;
3.基板加热电源,高到1200度;
4.**高真空成膜室腔体:不锈钢sus304材质,内表面电解抛光,本底真空度lt;5e-8 pa;
5.样品搬运室:不锈钢sus304材质,内表面电解抛光,本底真空度lt;5e-5 pa;
6.排气系统:分子泵和干式机械泵;
7.阀门: 采用**高真空挡板阀;
8.真空检测:真空计;
9.气路两套: 采用气体流量计控制;
10.薄膜生长监控系统: 采用扫描型差分RHEED;
11.监控系统:基板温度的监控和设定,基板和靶的旋转,靶的更换等;
12.各种电流导入及测温端子;
13.其它各种构造:各种**高真空位移台,磁力传输杆,脉冲激光沉积装置公司,**高真空法兰,脉冲激光沉积装置,**高真空密封垫圈,**高真空用波纹管等;
脉冲激光沉积简介
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——脉冲激光沉积供应商,我们为您带来以下信息。
【设备主要用途】
PLD450A型脉冲激光沉积设备采用PLD脉冲激光沉积技术,用于制备高温**导薄膜、半导体膜、铁电薄膜、硬质薄膜以及微电子和光电子用多元氧化物薄膜及异质结,也可用于制备氮、碳、硅化合物及各种**—无机复合材料薄膜及金刚石薄膜等。
【设备优点】
设备全程采用一键式操作抽气,关机,程序自动化定时操作。避免了繁琐的角阀,插板阀人工开启。
【设备主要组成】
设备由沉积腔室(单室球形或圆筒形)、样品加热转台、激光入射转靶、激光窗、电源控制系统、激光束扫描系统、计算机控制转靶的旋转、脉冲准分子激光器等组成