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发布时间:2021-08-23
描电镜和透射电镜对样品的要求
1、扫描电镜
扫描电镜制样对样品的厚度没有特殊要求,可以采用切、磨、抛光或解理等方法将特定剖面呈现出来,从而转化为可以观察的表面。这样的表面如果直接观察,看到的只有表面加工损伤,天津电镜分析机构,一般要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀,才能产生有利于观察的衬度。不过腐蚀会使样品失去原结构的部分真实情况,同时引入部分人为的干扰,对样品中厚度的薄层来说,造成的误差更大。
2、透射电镜
由于透射电镜得到的显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度,因此样品观测部位要非常的薄,例如存储器器件的透射电镜样品一般只能有10~100nm的厚度,这给透射电镜制样带来很大的难度。初学者在制样过程中用手工或者机械控制磨制的成品率不高,一旦过度削磨则使该样品报废。透射电镜制样的另一个问题是观测点的定位,一般的制样只能获得10mm量级的薄的观测范围,这在需要分析的时候,目标往往落在观测范围之外。目前比较理想的解决方法是通过聚焦离子束刻蚀(FIB)来进行精细加工。
高分辨率台式扫描电镜是一种大型精密仪器
高分辨率台式扫描电镜由三大部分组成:真空系统,电子束系统以及成像系统,是一种大型精密仪器,它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。
真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器,真空泵用来在真空柱内产生真空,**械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足真空要求,天津电镜分析中心,需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中,真空柱底端即为右图所示的密封室,用于放置样品。
之所以要用真空,主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以除了在使用SEM时需要用真空以外,平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成像的电子更多。热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子的SEM上,天津电镜分析价格,电磁透镜*。
高分辨率台式扫描电镜易于掌握
高分辨率台式扫描电镜打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性,利用创新的双聚光镜成像技术,采用大型扫描电镜成像方式,使用二次电子探测器作为基础成像单元,从而,可以获得更高的分辨率,是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。
高分辨率台式扫描电镜具备与大型扫描电镜同等的分辨率。该设备实现了大电镜的小型化处理,放大倍率高达10万倍;装载易于使用的可变光阑,天津电镜分析,可达到5nm图像分辨率,是高分辨率台式扫描电镜中分辨率高的设备;作为一款5轴载台,能同时运用鼠标控制与快捷键移动样品进行分析;可通过多种扫描模式与测试工具获得多种分析结果,广泛应用于材料科学、生命科学、教育、鉴定、工业、电子、环境、能源等领域。