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直热式的钨阴极发射通过对灯丝的直接加热，把电子从钨阴极材料中激发出来。若增加灯丝的加热电流，灯丝的温度就会随之上升，发射的束流也会随之加大。当灯丝的发射束流达到其高点时，即使再加大灯丝的加热电流，其发射的束流也很难再有明显增加，而只会增加灯丝的温度，从而加速灯丝的挥发，进而导致灯丝很快烧断。也就是说操作者应该小心地施加灯丝的加热电流，以获得既大又稳定的发射束流，而灯丝的温度又能恰到好处，不至于升得太高而造成过热，这个点就叫作饱和点。
台式扫描电镜的真空要求和小容量的抽真空使台式扫描电镜抽真空时间短，也比传统落地扫描电镜呈像速度快。台式扫描电镜可直接操作，天津不导电样品电镜分析，节省了实验操作人员执行分析，准备报告并传达结果所需的时间。除了台式扫描电镜系统响应快之外，分析即时性和用户实时根据观察结果来指导研究工作是具有要当大的潜在价值的。在一些应用中，比如钙钛矿的观察，因为钙钛矿在空气中非常容易氧化，因此如果抽真空的时间过长，样品的表面形貌和成分会发生改变，台式扫描电镜能有效地减小钙钛矿的氧化。
由电子发射的能量为 5 ～ 35keV 的电子，以其交 叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射(以及其它物 理信号)，二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅较，调制与入射电子束同步扫描的 显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。
