价格:面议
沈阳鹏程真空技术有限责任公司
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磁控方箱生产线介绍
用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料科研与小批量制备。
主要由真空室系统溅射室、靶及电源系统、样品台系统、真空抽气及测量系统、气路系统、电控系统、计算机控制系统及辅助系统等组成。
技术指标: 极限真空度6.7×10-5Pa,系统漏率:1×10-7PaL/S; 恢复真空时间:40分钟可达6.6×10 Pa(短时间暴露 大气并充干燥氮气后开始抽气)
镀膜方式:磁控靶为直靶,向下溅射成膜; 样品基片: 负偏压 -200V
样品转盘:在基片传输线上连续可调可控,在真空下可轮流任意靶位互换工作。样品转盘由伺服电机驱动,计算机控制其水平传递;
可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统,计算机控制系统的功能:对位移和样品公转速度随时间的变化做实时,对位移误差进行计算,以曲线和数值显示。样品公转速度对位移曲线可在线性和对数标度两种显示之间切换,可实现换位镀膜。
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【磁控溅射镀膜设备】使用注意事项
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磁控溅射镀膜设备是目种镀膜产品,相比传统的水电镀来讲,磁控溅射镀膜设备无毒性,能够掩盖,弥补多种水电镀的缺陷。
近年来磁控溅射镀膜设备技术得到了广泛的应用,现国内磁控溅射镀膜设备厂家大大小小的也非常多,但是专注于磁控溅射镀膜设备生产,
经验丰富的却造磁控溅射镀膜设备厂家,就一定会有一定的规模,这类磁控溅射镀膜设备不像是小件的东西,
磁控溅射镀膜设备其技术含量非常的高,选购磁控溅射镀膜设备时一定要先了解。
磁控溅射镀膜设备技术含量高,那么就一定要拥有一个非常强大的磁控溅射镀膜设备技术工程队伍,磁控镀膜机,
磁控溅射镀膜设备行业*的,磁控镀膜机公司,磁控溅射镀膜设备可根据用户的产品工艺及物殊要求设计配置。
小型磁控溅射仪的优势
设备主要优势
实用性:设备集成度高,结构紧凑,占地面积小,可以满足客户实验室空间不足的苛刻条件;通过更换设备上下法兰可以实现磁控与蒸发功能的转换,实现一机多用;
方便性:设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式,接线及安装调试简单,既保证了设备使用方便又保证了设备的整洁;
高:设备主要零部件采用进口或国内品牌,以国产设备的价格拥有进口设备的配置,从而保证了设备的质量及性能;
安全性:独立开发的PLC 触摸屏智能操作系统在传统操作系统的基础上新具备了漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能,保证了设备的使用安全性能;
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