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关 键 词：派瑞林耐盐雾腐蚀涂层
行 业：表面处理 气相沉积设备 化学气相沉积设备
发布时间：2021-07-27
Parylene能在0.2um厚时就完全没有针孔，5um时就能耐1000V以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能也好，起到非常好的耐高压以及防水、防腐蚀的效果。因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
