半导体设备

价格：1起

罗普伺达机器人（上海）有限公司

联系人：银先生

电话：18665351196

地址：云岭西路356弄5号4楼

产品规格：LPM 8~12寸

产品数量：1 个

包装说明：木箱

关 键 词：半导体设备

行 业：电气 低压电器 控制器 

发布时间：2023-09-13

半导体工程内300mm FOUP的 Load / Unload , UP / Down Mapping 功能
适用N2 Purge 功能 / 适用RFID 进行Wafer ID Reading / 对应SEMI S2 & CE。
主要特征：
■ Model RLS-5102 

■ Wafer  Plain 200mm /300mm 

■ Cassette  CST/FOUP/FOSB 

■ Docking stroke  0 ~ 70mm 

■ Latch motion  90° ± 0.5° 

■ Operation Time With Mapping  <13 sec 

■ RFID RS 232C

■ Vacuum supply Ø4 one touch fitting 

■ Air supply Ø4 one touch fitting 

■ Interface  RS232C

■ MTBF ≥ 20,000 hour

■ MTTR ≤ 1 hour

■ Repeatability  ≤±0.1mm 

■ Operating Temperature  0℃~40℃ 

■ Operating  Humidity  30% ~ 80%

■ Stable Temperature  -10℃~70℃ 

■ Stable  Humidity  0% ~ 93%