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关 键 词:万级无尘车间安装
行 业:环保 净化工程
发布时间:2021-06-14
无尘车间是指将一定空间范围内的空气中的尘粒、微粒子、有害空气、、微生物等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。其建筑结构、装备及其作用均具有减少该房间(区域)内污染源的介入、产生和滞留的功能。不论外在空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。对于器械而言,无尘车间包括生产区域和检验区域。
无尘车间通道设计:
设计: 操作人员是各种污染物的携带者,所以人员在进入净化车间前要进行人身处理,使之达到净化要求,笔者认为一般是通过采用人员换鞋,更衣及风淋处理等措施达到净化要求后再进入洁净区,核心生产洁净室南侧支持区为非洁净区,与核心区联系紧密,设有生产办公室,洁净区的就设置在这边,操作人员人身净化程序如下:换鞋,二次更衣,穿洁净服,进入洁净前室,经过风淋室通道,进入净化车间。
物流设计: 货物搬入的净化处理也至关重要,通过设置闸间将洁净区和设备搬联系起来,闸间内设有空气吹淋设施。货物由北侧支持区设备搬搬入,拆包预装后,经过闸间吹淋后进入洁净区。洁净由于气流组织的需要,洁净区内地面设置了高架地板,高架地板的选型也是物流通道要考虑的因素,因此规划好物流搬入路线,使搬入通道上的地板承载力满足要求,也是不能忽视的。
气流设计: 气流组织在净化车间设计中占有重要地位,空气净化一般通过过滤空气,气流组织,空间静压等措施达到洁净室内环境的要求。一般采用初效,中效,过滤系统,上送下回垂直单项气流组织形式。顶棚上部为静压箱,气流由静压箱,通过过滤器加压过滤后进入洁净区,流经生产操作区域,再通过地面开孔架空地板进入下技术夹层,再通过侧墙的回风夹道回到空调器。
无尘车间结构材料:
1.电子厂净化车间墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化的氧化铝型材制造。门采用净化密闭门,窗采用铝合金玻璃固定窗。2.地面采用环氧自流平或耐磨塑料洁净地板。
3.净化通风管道选用镀锌薄钢板制作,并采用“橡塑”阻燃型的保温板做保温。
4.地面可采用高架地板、环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
5.送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。
净化车间技术要求:
1.电子净化车间万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
2.电子净化车间垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
3.电子净化车间与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
4. 电子净化车间万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的大值:补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和; 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
5.电子净化车间净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项大值:保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量,根据热,湿负荷计算确定洁净室的送风量,向电子制造厂洁净室给的新鲜空气量:
无尘车间的分类:
1.乱流式(Turbulent Flow)
空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。
优点:构造简单、系统建造成本,无尘室之扩充比较容易,在某些用途场所,可并用无尘工作台,提高无尘室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制
程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
2.层流式(Laminar)
层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用,一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:
⑴水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
⑵垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
3.复合式(Mixed Type)
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
⑴洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
⑵洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
⑶并装局部无尘室(Clean Spot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台:等级Class 1~100级。
洁净工作棚:为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
无尘车间的构成:
一般情况下,无尘车间是指器械生产和检验所需的工作环境,对于生产环节,应包括与生产产品工艺流程相对应的功能间,如注塑间、干燥间等;对于检验环节,应包括与检验有关的功能间,如阳性对照间、无菌检验间和微生物限度间等;为生产服务的功能间,如洗衣间、洁具间等以及连接各功能间的缓冲过渡通道。
无尘车间的气流组织形式是实现洁净环境的重要保证措施。一般气流组织形式有非层流方式或层流方式两种。用高度净化的空气把车间内产生的粉尘稀释,叫做非层流方式(乱流方式)。用高度净化的气流作为载体,把粉尘排出,叫做层流方式。层流方式有垂直层流和水平层流两种。从房顶方向吹入清洁空气通过地平面排出叫垂直层流式,从侧壁方向刮入清洁空气,从对面侧壁排出叫水平层流式。乱流方式由于换气次数的变化洁净度也随之变化。
无尘车间的气流应满足洁净度和人体健康的要求,如关键工作操作点应位于洁净空气流的上风侧,对散发有害物质的工作点,人的头部应避免在其空气流正对的下风侧。应使无尘车间气流流
向单一。非单向流无尘车间内设置操作台时,其位置应远离回风口。产品也不应摆放在回风口附近,因为回风口处的洁净度比较差。回风口应均匀布置在无尘车间的下部,高度应低于工作台面。无尘车间内有局部排风装置时,其位置应设在工作室气流的下风侧,以免气流短路。
无尘车间室内装修:
1、无尘车间的建筑围护结构和室内装修,应选用气密性良好, 且在温度和湿度等变化作用下变形小的材料。墙面内装修当需附加构造骨架和保温层时。应采用非燃烧体或难燃烧体。
2、无尘车间内墙壁和顶棚的表面,应符合平整、光滑、不起灰、 避免眩光、便于除尘等要求;应减少凹凸面,阴阳角做成圆角。室内装修宜采用于操作;如为抹灰时,应采用抹灰标 准。
3、无尘车间的地面,应符合平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚 静电、避免眩光、并有舒适感等要求。
4、无尘车间技术夹层的墙面、顶棚宜抹灰。如需在技术夹层内 更换空气过滤器时,宜增刷涂料饰面。地面、回风地沟和位于地下的技术夹层,应采用防水或防潮、防霉措施。 建筑风道和回风地沟的内表面装修标准,应与整个送、回风系统相适应,并 应易于除尘。
5、洁净厂房和人员净化用室设置的外窗,应采用双层玻璃金属窗,并应有良好的气密性。
6、洁净厂房内的密闭门宜朝空气洁净度较高的房间开启。无窗洁 净室的密闭门上宜设观察窗。
7、无尘车间门窗、墙壁、顶棚、地(楼)面的构造和施工缝隙, 均应采取可靠的密封措施。
8、洁净厂房内的色彩宜淡雅柔和。室内各表面材料的光反射系数, 顶棚和墙面宜为0.6-0.8;地面宜为0.15--0.35。
无尘车间空气净化:
1、无尘车间内有多种工序时,应根据各工序的不同要求,采用不同的空气洁净度等级。
2、在满足人生产工艺要求的前提下,洁净厂房的气流组级别,宜采用局部工作区空气净化和全室空气净化相结合的形式。
3、层流洁净厂房和乱流洁净厂房以及运行班次和使用时间不同的洁净厂房,其净化空气调节系统均宜分开设置。
4、无尘车间内应保证一定的新鲜空气量,其数值频取下列风量中的大值;乱流洁净厂房总送风量的10%~30%,层流洁净厂房总送风量的2~4%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。
5、洁净区的清扫,宜采用移动式真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。洁净厂房内集中式真空吸尘系统的管道,应暗敷。
无尘车间装饰装修工程的材料选择,应符合下列规定:
1、无尘车间工程建设的设计要求;
2、应满足防火、 保温、 隔热、 防静电、 振动、 噪声和其他要求;
3,应确保洁净室空气密封性的要求,没有灰尘和颗粒吸附在表面的材料,没有积累的灰尘;
4、应使用不发霉、 防水、 耐水洗材料应清洗干净,污染物和非易失性的分子;
5,应满足要求的产品质量,生产,和可能不会释放有害影响产品质量的材料;
6,应遵守国家有关标准的建筑装饰装修材料有害物质。
7,洁净室装修及装修工程的植物结构和屋顶完成后的和工程验收。执行现有的建筑,如环境和现有的洁净室装修时设施应予以明确和清洁,清洁施工的施工要求。
8,洁净室装修及施工过程中,应关闭,施工现场管理,其中包括获得清洁控制人员、 设备和材料,以避免其他工程与建筑的振动和噪声。
9,洁净室装修施工环境温度不应低于 5 摄氏度。应采取低温施工、 温度要求和施工作业绝缘措施。
10,当洁净室装修工程应保持现场清洁,隐蔽空间,应清洗干净的记录。
11,洁净室装修施工,已完成的表面装饰工程应受到保护,不应有影响跳动时,发生件造成的凹痕、 破坏和污染的表面装饰。
无尘车间电气工程施工要求:
1.洁净空调配电、照明配电和其他设备配电应单控制。
2.网线、墙上设备电源利用原有线路,配电箱、插座、照明开关和网络面板均为暗装。
3.洁净室应根据生产要求提供足够的照明,在施工前进行复核。
4.每个单区域照明灯开关应单控制。
5.灯具安装应易于清洁。
6.室内洁净灯具安装完毕,应该及时清扫。
无尘车间净化装修施工要求:
1.地面处理做自流平面处理,铺设2mm厚PVC地板。
2.根据CMP规范要求,洁净室是设计和安装时应考虑使用中避免出现不易清洁的部位,工程在进行净化装修时,门窗安装与建筑、净化空调、各种管线、照明灯具的结合部位缝合隙要密封处理。
3.所有的配件、隔墙、吊顶的固定和吊挂件只能与主体结构相连,不能与设备和管线支架交叉混用,防止因微震引起装修材料松动和灰尘脱落。
4.根据GMP认证检查标准,室内装修要符合下列要求:
(1)应选用气密性良好,且在温度和湿度等变化作用下变形小的材料。
(2)墙壁和顶棚表面应光洁、平整、不起灰、不落尘、耐腐蚀、耐冲击、易清洗、减少凹凸面。墙、地面相接处做成变径等于50mm的圆角。壁面色彩要和谐、雅致、并便于识别污染物。
5.建筑装饰和门窗的缝隙应在正面密封。
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