三坐标测量机,3D光学轮廓仪与投影仪的区别
三坐标:精度较高。主要测量二维尺寸,三维尺寸都能测量,侧重点能测量三维尺寸,能测量一些空间尺寸,并且能做逆向工程。
投影仪:主要是通过光学原理,将被测量产品投影在一平面放大成像。精度没有三坐标高。
3D光学轮廓仪:侧重于一些曲面轮廓尺寸的测量。特别是对一些小特征,其它检测设备不好测量的尺寸,轮廓度就可以测量。
三维非接触式光学轮廓仪技术参数:
垂直测量范围:27mm垂直分辨率:2nm扫描速度:20mm/s横向分辨率:0.1m测量范围:150mm×150mm
产品特性:
1.采用白光轴向色像差技术,可获得纳米级的分辨率2.测量具有非破坏性,测量速度快,度高3.尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面4.不受样品反射率的影响5.不受环境光的影响6.测量简单,样品*处理7.Z方向max测量范围为27mm8.测量范围广,可测透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)
3D轮廓测量仪有什么技术优势?
3D轮廓测量及分析仪可以应用于工业现场进行电池较耳焊印毛刺的形貌测量、较片分条后的波浪边测量,是高精度厚度测量设备,为测量带来便利,3D轮廓测量及分析仪使用寿命长,利用高精度2D位移传感器对被测物进行扫描,得到被测物表面轮廓相关数据后,可以对产品进行各种矫正和分析,得出需要的高度、锥度、粗糙度、平面度等物理量。大大提升了产品生产合格率,节省了生产成本。 测量原理: 利用高精度2D位移传感器对被测物进行扫描,得到被测物表面轮廓相关数据后,对其进行各种矫正和分析,得出需要的高度、锥度、粗糙度、平面度等物理量。有广泛的应用市场如:3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差;半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC;**精密加工.光学透镜;精密加工.发动机叶片;精密加工.金字塔型金刚石磁头;标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度。
光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等**精密加工行业及航空航天、*、科研院所等领域中。可测各类从**光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据