固定式三维形貌测量仪
产品介绍
ST150型固定式三维表面形貌测量仪，采用国际的光谱共焦技术，可实现对材料表面微米、次微米级粗糙度检测，并且可以进行2D轮廓/3D微观形貌扫描分析，具有测量精度高，速度快，便于携带，重复性好的优点，该仪器可用于测量大尺寸样品，软件功能含括了点测量、线测量、面测量以及编程等强大的功能，可选模块包括2D&3D粗糙度检测与分析、2D轮廓测量与3D形貌分析、平面度检测、共面度检测、平行度检测。
仪器基本信息
功能与特性
测量具有非破坏性，测量速度快，精度高；测量范围广，可测透明、半透明、金属材料、高漫反射、低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)；
尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面，漫反射表面大可达87度；
不受样品反射率的影响；
不受环境光的影响；
测量简单，样品*处理；
三坐标测量机，3D光学轮廓仪与投影仪的区别
三坐标：精度较高。主要测量二维尺寸，三维尺寸都能测量，侧重点能测量三维尺寸，能测量一些空间尺寸，并且能做逆向工程。
投影仪：主要是通过光学原理，将被测量产品投影在一平面放大成像。精度没有三坐标高。
3D光学轮廓仪：侧重于一些曲面轮廓尺寸的测量。特别是对一些小特征，其它检测设备不好测量的尺寸，轮廓度就可以测量。
白光干涉3D轮廓仪的相关技术参数
主要性能指标
1. 仪器类型：非接触式光学轮廓仪；
2. 仪器技术：白光干涉技术；
3. Z方向扫描范围不可小于10µm；
4. XY方向扫描范围不可小于150mm；
5. 支持样品反射率在0.05%到之间变化；
6. Z方向聚焦要不小于100mm；
7. Z方向扫描速度不能小于47µm/sec；
8. Z 方向精度 < 0.01nm；
9. RMS重复性（PSI）< 0.01nm；
10. 能够提供多种FOV，从而让物镜放大倍率在5X到100X之间切换；
11. 在任何物镜倍率下都要达到亚埃级至毫米级垂直测量量程；
12. 支持高亮度的双LED光源；
13. 支持实时观测样品台X、Y、Z、轴方向上的调节；
14. 支持自动光强强度调节；
15. 全自动样品台支持150mm样品大小；
16. PC要具备多核处理器和支持64位软件；
17. 支持无缝拼接，可以把成千上万个数据拼接成一张连续的图像；
轮廓仪和粗糙度仪之间有什么不同之处？首先我们要知道这两者不是同一种产品，是两个不同的个体，从名称上看，这两者的针对性会不同。那么我们先来了解轮廓仪，它是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试和检测的仪器，而粗糙度仪则又叫做表面粗糙度仪，初是国外先研发的，后来才引进到国内。那么这两者功能是什么呢？下面就让我们来了解一下吧。
一、轮廓仪，轮廓仪的主要功能是什么呢？它主要是用来测量零件表面的轮廓形状，反应的是零件的宏观轮廓，比如说：汽车零件中的沟槽的槽深、槽宽、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等)，圆柱表面素线的直线度等参数。
二、粗糙轮廓仪的主要功能是什么呢？主要是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量，通俗地讲，就是零件表面加工得光不光(粗糙度老国标叫光洁度)，即粗糙度反映的是零件加工表面的微观情况。
还有种分不清哪个是哪个的情况，我们可以通过这个方法，能测粗糙度仪的，叫带粗糙度测量头(即粗糙度测量模块)，仅能测量轮廓的，是不带粗糙度测量头的，但也叫轮廓仪。
